Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #135009 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die entwickelt wurde, um die Ausbeute, Qualität und Zuverlässigkeit von Halbleitern zu verbessern. Es kombiniert fortschrittliche Optik, anspruchsvolle Software und Lightning Wafer Inspection-Technologie, um Mängel mit Mikron-Genauigkeit zu überprüfen. Das System ist mit einer hochauflösenden CCD-Kamera und telezentrischer Optik ausgestattet, um Bilder der Maske oder des Wafers mit einem Sichtfeld von bis zu 8mm x 8mm aufzunehmen. Die telezentrische Optik korrigiert die geometrische Verzerrung durch eine abgewinkelte Ansicht, was eine höhere Bildqualität und Detektionsgenauigkeit ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über einen Infinity Focus Beam Profiler, der eine Bildebene am Brennpunkt der Optik erzeugt und eine 3D-Laserprofil-Karte der inspizierten Oberfläche erstellt. Die KLA 2132 verfügt über eine Steuerungsmaschine mit einer benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche und Algorithmen zur automatischen Erkennung. Das Tool ermöglicht das Einrichten von Einzelklicks und die schnelle Bearbeitung gescannter Flächen. Es enthält auch eine automatische Kalibrierungsfunktion, die Bildgebungsparameter optimiert, um eine hohe Positioniergenauigkeit zu erhalten. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine Reihe von Qualitätsanalysemodulen, intelligente Techniken, die komplexe Defekte analysieren und detaillierte Fehlermessungen und Analyseberichte erstellen. Dazu gehören Stempel-zu-Stempel-Vergleich, Farbmapping und Ringanalyse zur Fehlererkennung und Klassifizierung. TENCOR 2132 Autokollimatoren, eine Reihe von Spiegeln und Linsen, ermöglichen eine Aberrationskorrektur, wodurch die manuelle optische Ausrichtung entfällt. Das Modell beinhaltet auch eine Integrierungsoption für den On-Stepper, die eine hochauflösende Prüfung eines Wafers in Echtzeit während der Schrittbelichtung ermöglicht und eine schnelle und genaue Fehlerüberwachung ermöglicht. 2132 gibt Halbleiterherstellern die Fähigkeit, auf der Mikroskala zu überprüfen, um Ertragsverluste und Produktionsfehler zu identifizieren und zu mindern. Neben der Bereitstellung klarer, detaillierter Bilder bietet die Ausrüstung eine fortschrittliche automatisierte Fehlererkennung und -klassifizierung, die es Herstellern ermöglicht, die Qualität und Zuverlässigkeit ihrer Produkte zu verbessern.
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