Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #293628427 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung von Defekten in Schaltungsmustern auf Photomasken und Wafern bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente entwickelt wurde. Es bietet eine Hochgeschwindigkeits-Musterinspektion mit einer dreidimensionalen Genauigkeit für die effektive Herstellung von hochdichten, hochauflösenden integrierten Schaltungen. Das System verfügt über fortschrittliche Mustererkennungs- und Materialidentifizierungstechnologien, die eine detaillierte Analyse von Schaltungsmustern mit Schwerpunkt auf der Fehlererkennung ermöglichen. Die Inspektion von Masken- und Wafermustern erfolgt vorab durch die Erzeugung eines parametrisierten Bildes, das im Bordspeicher der UCK 2132 gespeichert ist. Das parametrisierte Bild wird verwendet, um die Masken- und Wafermuster mit dem Referenzbild zu vergleichen, mit dem das Muster definiert wird. Dieser Vergleichsvorgang ermöglicht es der Einheit, KEs im Muster zu lokalisieren und zu identifizieren. Anschließend werden erkannte KEs analysiert, um festzustellen, ob sie mit dem Referenzmuster und den vordefinierten Parametern übereinstimmen. TENCOR 2132 verwendet einen proprietären Algorithmus mit hoher Genauigkeit zur Erkennung von Anomalien in Mustern. Dieser Algorithmus untersucht Oberflächentopographie, Kantenanomalien, Platzierung von Musterlinien, Erkennung kritischer Merkmale und andere Musterparameter. Wenn Sie einen Fehler identifizieren, kann die Maschine Größe, Ort, Typ und andere zugehörige Informationen angeben. Darüber hinaus kann das Tool seine Prüfergebnisse in eine vorhandene Di- oder Design-to-die-Datenbank integrieren, um eine Fehleranalyse vor Ort zu ermöglichen. 2132 weist außerdem ein automatisiertes korrigierendes Partikelinspektionsmerkmal auf, das automatisch detektierte Partikel oder Kontaminationen aus den Masken- oder Wafermustern durch Anwendung eines musterbasierten Korrekturalgorithmus entfernt. Schließlich ist die Anlage aufgrund ihrer leicht zugänglichen Werkzeuge und Teile speziell für den 24-Stunden-Betrieb konzipiert, was eine regelmäßige Wartung und Ausrichtungsautomatisierung ermöglicht. KLA/TENCOR 2132 ist ein fortschrittliches Modell, das entwickelt wurde, um kritische Inspektions- und Fehleranalyselösungen bereitzustellen, die die Produktionskosten minimieren und den Ertrag bei der Herstellung von hochdichten, hochauflösenden integrierten Schaltungen maximieren. Dieses Gerät integriert hochentwickelte Mustererkennungs- und Materialidentifizierungstechnologien, die eine präzise Musteranalyse und Fehlererkennung in anspruchsvollen industriellen Umgebungen ermöglichen. Die KLA 2132 bietet mit ihren innovativen Lösungen ein leistungsfähiges Paket zur Sicherstellung der hohen Qualität der Herstellung von mikroelektronischen Geräten.