Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #293749626 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2132 ist eine Hochleistungs-Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die Herstellung von Halbleitern mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Das System verfügt über eine Reihe von leistungsgesteuerten Funktionen, die die einfache und genaue Erkennung von Mikrofehlern in den im Halbleiterherstellungsprozess verwendeten Masken und Wafern ermöglichen. Herzstück der Einheit ist ein 5 Megapixel digitales bildgebendes Subsystem bestehend aus einzelnen CCDs mit dreizehnfacher Vergrößerung. Diese bildgebenden Subsysteme können eine Vielzahl von Mikrodefekten mit hoher Empfindlichkeit schnell und genau erkennen. Alle Bildinformationen werden mit der Multi-Scanning-Technologie der Maschine verarbeitet, die es ermöglicht, selbst kleinste Fehler zu erkennen und zu isolieren. Diese Technologie ermöglicht auch eine schnelle Verarbeitung und Analyse der aufgenommenen Bilder. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Fehlersensoren kompatibel, einschließlich derjenigen, die für 3D-Messungen und eine Vielzahl von Fehlerbewertungstechniken erforderlich sind. Es ermöglicht auch eine breite Palette von nicht defekten Musteranalysetechniken wie Inspektionen auf isolierte Elemente, grobe Fehlerprüfungen und Mustervollständigkeit. Die Anlage wurde entwickelt, um auf einer breiten Palette von Materialien, einschließlich Metall, Polysilizium, Poly-CVD und Oxid durchführen. Die Benutzeroberfläche für KLA 2132 ist intuitiv und unkompliziert und ermöglicht eine einfache Navigation der Modelleigenschaften. Es ermöglicht die Verwendung einer Vielzahl von Bildsätzen, einschließlich solcher mit komplexen Datentypen, und bietet die Möglichkeit, mehrere automatisierte Auftragssequenzen einzurichten. Darüber hinaus bietet es eine sehr anpassbare Inspektionsberichtsseite, die detaillierte Ergebnisse sowohl mit Textdaten als auch mit Farbbildern anzeigen kann. Die Ausrüstung ist auch leicht erweiterbar, mit internen Erweiterungssteckplätzen, die es einfacher machen, zusätzliche Softwarekapazität und Bildverarbeitungsfunktionen hinzuzufügen. Es enthält auch eine automatische Inspektionsrezeptur sowie ein Menü-gesteuertes Muster/Los-Setup-Menü, das die Einrichtung von Inspektionen vor jedem neuen Substrat erleichtert. TENCOR 2132 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen konzipiert, darunter ein ESD-Schutztor, ein Quarantäneschutztor und ein automatischer gaseffizienter Betrieb. 2132 steht als eines der fortschrittlichsten und zuverlässigsten Masken- und Wafer-Inspektionssysteme auf dem Markt. Seine leistungsstarke Bildgebungstechnologie, intuitive Benutzeroberfläche und zuverlässige Sicherheitsfunktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede fortschrittliche Halbleiterherstellungsanlage.