Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #293753279 zu verkaufen
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ID: 293753279
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 6"-8"
Inline-loading
Auto wafer loader
(25) Wafer cassettes
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur hochgenauen Analyse von Halbleiter- und Optikbauelementen. Das System ermöglicht eine detaillierte Analyse von Oberflächenfehlern, Schaltungen, integrierten Schaltungen und anderen optischen Komponenten, einschließlich Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Diese Maschine verwendet eine automatisierte Laserstrahl-Bildgebungseinheit, die eine Auflösung von bis zu 1 Nanometer aufweist und schnelle, genaue und fehlerfreie Ergebnisse liefern kann. Die KLA 2132 ist eine automatisierte Maschine, die sich problemlos in aktuelle automatisierte Waferinspektionssysteme integrieren lässt. Es verfügt über eine vollständig geschlossene, staubfreie Umgebung und erweiterte Automatisierungsfunktionen. Das automatisierte Erkennungswerkzeug ermöglicht eine schnelle und genaue Analyse von Oberflächen, Schaltungen und Komponenten. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine integrierte Bildverarbeitungssoftware, die einen detaillierteren Vergleich mit Standardbildern ermöglicht. Das Wafer-Inspektionsmodell verfügt über eine hochauflösende Bildkamera, die hochdetaillierte Bilder aus verschiedenen Winkeln erhält und einen genauen Vergleich von Oberflächenfehlern und Gleichmäßigkeit ermöglicht. TENCOR 2132 verwendet zwei verschiedene Lasertechnologien zur Inspektion verschiedener Oberflächen: Dunkelfeld- und Hellfeldtechniken. Dunkelfeldtechniken erzeugen helle Bilder großer Defekte auf dunklen Oberflächen. Helle-Feld-Techniken schaffen dunkle Bilder von dunklen Defekten auf hellen Oberflächen. Das Gerät hat auch die Fähigkeit, sehr kleine Defekte zu erkennen, wie unsichtbare Partikel, Pinholes und Korngrenzen Hohlräume, so dass der Nachweis von Partikeln, die das menschliche Auge nicht sehen kann. Dies geschieht durch ein automatisiertes Laserstrahl-Abbildungssystem, das die Auflösung des Bildes auf ein Nanometer (1 nm) erhöht und hervorragende Ergebnisse liefert. 2132 ist in Verbindung mit zahlreichen Fertigungsverfahren einsetzbar. Es ist vom SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) als Teil seines S2-2030 Standards zertifiziert und gewährleistet die Kompatibilität mit seinen größeren Verarbeitungssystemen. Darüber hinaus ist die Einheit auch zur Datenerfassung mit hohem Durchsatz in der Lage, so dass eine große Anzahl von Bildern in kurzer Zeit aufgenommen werden kann. KLA/TENCOR 2132 ist eine fortschrittliche automatisierte Masken- und Waferinspektionsmaschine, die schnelle, genaue und fehlerfreie Ergebnisse liefert. Es ist in der Halbleiter- und Optikindustrie aufgrund seiner hochauflösenden Bildaufnahmekamera, seines automatisierten Erkennungswerkzeugs und seiner automatisierten Laserstrahl-Bildverarbeitung sowie seiner Kompatibilität mit dem S2-2030 Standard von SEMI weit verbreitet. Mit diesen Eigenschaften ist KLA 2132 in der Lage, Genauigkeit und Zuverlässigkeit in der Waferfertigung und Maskeninspektion zu bieten.
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