Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #293815221 zu verkaufen

ID: 293815221
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132 ist ein hochgenaues, hochgeschwindigkeitsautomatisiertes optisches Inspektionswerkzeug für die Herstellung mikroelektronischer Geräte. Es ist eine integrierte Maschine, die ein modernes optisches Detektionssystem verwendet, kombiniert mit fortschrittlicher Optik und Bildanalysesoftware, um Front- und Rückseitenmasken- und Waferoberflächen schnell und effektiv zu untersuchen. Das Gerät wurde entwickelt, um sowohl kritische als auch unkritische Fehler im Bereich von 0,07 μ m bis 45 μ m zu erkennen. KLA 2132 verwendet eine hochauflösende 5-Megapixel-lineare Array-CCD-Kameramaschine, die Bilder mit einer Geschwindigkeit von 20.000 Bildern pro Sekunde aufnimmt und sowohl eine sehr detaillierte Bildgebung als auch eine schnelle Erfassungsgeschwindigkeit bietet. Die drei FlashMax High-Dynamic-Range-Systeme ermöglichen die rückseitige Abbildung von geätzten oder nicht geätzten Wafern, einschließlich ungeschützter Rückseite von Geräten, was andere Inspektionssysteme oft nicht können. Das Tool ist in der Lage, Photomasken-Funktionen zu überprüfen, entweder mit der direkten Betrachtung von kontrastreichen Funktionen auf Standard-Masken oder durch den Einsatz von Low-Dose-Bildgebung. Darüber hinaus eignet sich TENCOR 2132 zur Inspektion der Ätz- und Druckprozessschichten sowohl auf vorderen als auch auf rückseitigen Waferoberflächen. Ausgefeilte Bildanalyse-Algorithmen dienen dazu, Fehler schnell und präzise zu identifizieren, die Prozessleistung zu bewerten und Veränderungen der Waferleistung im Laufe der Zeit zu verfolgen. Die integrierte Hard- und Software mit 2132 macht es zu einem überlegenen Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug. Es kann nicht nur eine breite Palette von Defekten erkennen, sondern es ist auch unglaublich zuverlässig und schnell. Die KLA/TENCOR 2132 bietet eine ideale Lösung für die Erkennung und Bewertung von Masken- und Waferdefekten, um präzise Bildgebung zu ermöglichen, die Produktivität zu verbessern und die Inspektionszeit zu reduzieren.
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