Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #293818647 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterherstellung. Dieses System bietet umfassende Fehlerinspektionsmöglichkeiten, die es Anwendern ermöglichen, kritische Fehlertypen zu identifizieren und zu kategorisieren. Das Gerät kombiniert eine Vielzahl von optischen, elektrischen und bildgebenden Technologien, die es ermöglichen, hochauflösende bildgebende und automatisierte Fehlerklassifizierungen mit Geschwindigkeiten von bis zu 1.000 Wafern pro Stunde zu ermöglichen. Die UCK 2132 besteht aus zwei Hauptkomponenten, der Metrologiesäule und der Inspektionssäule. Die Messtechnik-Säule enthält fortschrittliche Lichtsensortechnologien, mit denen Funktionen bis zu 2 nm erkannt und gemessen werden können. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maschine prozessspezifische Merkmale bis in die Nanoskala genau messen und überwachen kann. Die Inspektionssäule soll hochauflösende Bilder der Inseln, Linien und Vias aufnehmen. Es wird dann von Inline-Algorithmen verarbeitet, um Ursache-Effekt-Defekte automatisch zu identifizieren und in verschiedene Kategorien wie Partikel, Merkmal oder Leitungsfehler einzuordnen. Das Tool beinhaltet auch Fehlererkennungs- und Klassifizierungsfunktionen, die auf eine Verkürzung der Inspektionszeit ausgelegt sind. Durch fortgeschrittene Musteranpassung und Funktionserkennungsalgorithmen kann TENCOR 2132 Ursache-Effekt-Fehler identifizieren und Funktionsanomalien von allen Arten von Fehlern erkennen. Darüber hinaus können Prozesschemien und Temperaturkontrolleinstellungen bei laufendem Asset fernüberwacht werden. 2132 bietet verschiedene Funktionen, mit denen der Benutzer die Inspektionen an seine spezifischen Bedürfnisse anpassen kann. Das Modell verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer schnell die Einstellungen und Parameter auswählen können, um die Prüfkriterien an die spezifische Anwendung des Benutzers anzupassen. Darüber hinaus hat das Gerät die Möglichkeit, häufige Einstellungen zu speichern und sie leicht zurückzurufen, sodass Benutzer Ergebnisse schnell replizieren können. Das System umfasst auch eine integrierte Fehlerverfolgungseinheit, mit der Benutzer Fehlerdaten in einem einzigen „Track-and-Trace“ -Bericht anzeigen und analysieren können. Die Gesamtleistung der Maschine wird durch erweiterte Datenverwaltungsfunktionen verbessert. Dazu gehören umfassende Datenspeicher- und Abruffunktionen sowie die Möglichkeit, Fehlerdaten aus mehreren Quellen und Wafer-Generationen nahtlos zu integrieren. Alle von KLA/TENCOR 2132 erzeugten Daten werden zur weiteren Analyse und Archivierung in einer speziellen Datenbank gespeichert. Zusammenfassend ist KLA 2132 eine hochentwickelte und fähige Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die Halbleiterherstellungsindustrie entwickelt wurde. Dieses Modell ist in der Lage, eine schnelle, hochauflösende Bildgebung und eine automatisierte Fehlerklassifizierung bei Geschwindigkeiten von 1.000 Wafern pro Stunde bereitzustellen. Es bietet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, erweiterte Datenverwaltungsfunktionen und anpassbare Inspektionskriterien, mit denen Benutzer ihre Inspektionen an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können.