Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #293824937 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2132 ist eine automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Früherkennung von ertragsbegrenzenden Defekten für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das System verwendet ein einzigartiges laserinduziertes optisches Mikroskop (LIM), um die Vorderseite einer Matrize oder eines Retikels schichtweise von oben nach unten zu inspizieren. Das LIM bietet die höchste verfügbare Auflösung und ermöglicht die Erkennung von Sub-Mikron-Defekten oder -Formen auf der endgültigen Maskenschicht oder Waferschicht dieses Werkzeugs oder Retikels. Gleichzeitig werden lithographiebedingte Defekte, Porenfehler, Leitungsbrücken und andere kritische Defekte untersucht. Das Gerät ist mit einer integrierten Kamera ausgestattet, die anhand der Anzahl und Art der erkannten Fehler automatisch ermittelt, welche Schicht überprüft werden soll. Es kann Fehler so klein wie 0.1um in CD und Tonhöhe erkennen, und es kann sogar CD-Haarleitungsfehler erkennen. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie bis zu vier Wafer gleichzeitig inspiziert, schnelle Wendezeiten und relativ niedrige Kosten pro Wafer gewährleistet. Neben dem LIM umfasst die KLA 2132 auch andere Technologien wie den KLA CMM Scanner, der zur genauen Messung der Abmessungen der Wafer und Reticles verwendet wird. Dies trägt dazu bei, dass während des Masken- oder Wafer-Herstellungsprozesses keine Fehler gemacht wurden. Das Tool ist auch mit einem Auto-Rezept-Generierungs-Tool ausgestattet, das hilft, den Inspektionsprozess zu automatisieren, indem je nach Anwendung und Technologie individuelle Rezepte für jeden Wafer erstellt werden. Das Asset umfasst auch erweiterte Software-Tools wie statistische Prozesskontrolle und erweiterte Fehlerklassifizierung. Auf diese Weise können Anwender die Fehlerwerte und deren Korrelation mit Prozessvariablen schnell untersuchen, um die gesamte Prozesssteuerung und Ausbeute effektiv zu verbessern. Darüber hinaus umfasst das Modell Echtzeit-Berichts- und Analysefunktionen, die eine schnelle Anpassung oder Optimierung der Prozessvariablen während der Inspektion ermöglichen. Schließlich ist die TENCOR 2132 Ausrüstung für YieldRCA-3 Betrieb zertifiziert, die es Anwendern ermöglicht, alle während der Inspektion festgestellten Fehler schnell und genau zu diagnostizieren. Dies macht das System zu einem leistungsstarken Werkzeug für jeden Halbleiterherstellungsprozess - insbesondere zur Identifizierung der Ursache für ertragsbegrenzende Defekte.