Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #9139541 zu verkaufen
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ID: 9139541
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 8"
Bright Field Inspection
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die auf verbesserte Leistung und Genauigkeit ausgelegt ist. Es ist vollautomatisiert und umfasst mehrere Komponenten wie hochauflösende CCD-Kameras, automatische Ausrichtungs- und Fokussierungssysteme, einen universellen Waferlader sowie verschiedene Bildgebungs-, Mess- und Ausrichtungssoftware-Tools. Die hochauflösenden CCD-Kameras mit bis zu 14,2 Megapixel Auflösung ermöglichen eine detaillierte Abbildung des Wafers, seiner Eigenschaften und Defekte. Dies wird mit einem automatischen Ausrichtsystem kombiniert, das in der Lage ist, eine Maske oder einen Wafer sicher über der Bildebene der Kamera auszurichten und dann für die bestmögliche Sicht zu positionieren. Mit einem universellen Waferlader werden die Wafer schnell und präzise auf das Gerät geladen, so dass sie richtig gesehen und analysiert werden können. Die KLA 2132 umfasst mehrere Softwarewerkzeuge, mit denen die Maschine genaue und präzise Abbildungen und Messungen verschiedener Merkmale und Mängel durchführen kann. Es verfügt über Bildverarbeitungsfunktionen zur Signalverbesserung und Fehlercharakterisierung, um eine genaue Messung sicherzustellen. Darüber hinaus verfügt es über Funktionen, die es ermöglichen, zwei Bilder derselben Maske oder desselben Wafers zum Vergleich und zur räumlichen Analyse auszurichten. Ein Werkzeug, SEMimage-Tool, gibt dem Benutzer die Möglichkeit, SEM-Bilder bei höheren Vergrößerungen anzuzeigen, um kleine Fehler und nanoskalige Funktionen zu visualisieren. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine umfangreiche Liste von Mess- und Ausrichtungsmöglichkeiten. Dazu gehören die genaue Positionierung aller Merkmale auf dem Wafer, die Messung von Linienbreiten und Querschnitten, die Überlagerungstoleranzmessung und die Zielausrichtung. Es gibt auch Makros, die eine automatische und manuelle Datenanalyse ermöglichen. TENCOR 2132 ist ein wesentliches Werkzeug für jede Halbleiterforschung oder -produktion. Seine hochauflösenden Kameras, Bildgebungs- und Messsoftware sowie umfassende Ausrichtungs- und Messfunktionen ermöglichen eine höhere Produktivität und Qualitätskontrolle. Die Kombination aus automatisierten Funktionen und manuellen Steuerungsoptionen macht es zu einer idealen Wahl für Aufgaben, die eine hohe Präzision und Genauigkeit erfordern.
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