Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #9139550 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2132
ID: 9139550
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wafer inspection system, 8" Bright Field Inspection 1996 vintage.
KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein hochpräzises Hochdurchsatzsystem, das auf Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt ist. Die Einheit dient zur Inspektion von Halbleiterbauelementen in verschiedenen Stufen des Herstellungsprozesses, wie Vormetallschichten, Metallschichten und Gattern. Die Maschine kann Fehler und Defekte in den frühen Phasen des Herstellungsprozesses erkennen, so dass Prozessingenieure dem Wafer-Fertigungsteam schnell Feedback geben können. Das Tool verwendet eine variable Strahlabbildungsanlage mit integrierter optischer Cross-CCD-Elektronikkamera, die eine Auflösung von mehr als 0,5 Mikron in allen Achsen ermöglicht. Dies ermöglicht eine präzise Erkennung von Feinfehlern, wie z.B. in Linienbreiten und -abständen. Darüber hinaus prüft das Modell KLA 2132 mehrere Schichten mit einer einzigen Inspektion, was eine schnellere und detailliertere Inspektion ermöglicht. Es analysiert 3-dimensionale Bilder und wertet mehrere Topographiestufen gleichzeitig aus. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass Fehler auf mehreren Ebenen mit einem einzigen Scan erkannt werden, was eine genauere Fehlererkennung ermöglicht. Das Gerät ist außerdem in der Lage, eine automatische Fehlervorschau und -klassifizierung durchzuführen, was Zeit und Aufwand bei der manuellen Erkennung und Überprüfung von Fehlern spart. TENCOR 2132 System ist sehr flexibel und anpassbar, so dass die Anpassung an die Kundenanforderungen. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Bereiche der Merkmalserkennung, wodurch es einfacher ist, Fehlergruppen zu identifizieren, sowie Tracking- und Analysefunktionen für eine verbesserte Prozesssteuerung. Insgesamt ist 2132 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine für die Inspektion von Halbleiterbauelementen. Es bietet eine hohe Auflösung, einen schnellen Durchsatz und weitreichende Funktionen, die eine genaue Erkennung von Defekten und eine verbesserte Prozesskontrolle ermöglichen. Dank der Flexibilität und Anpassung des Tools können Benutzer das Asset an ihre spezifischen Anforderungen anpassen.
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