Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #9159041 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9159041
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Wafer inspection system, 6"
Scan machine:
A mechanical arm
Two cassette holder
The main operating machine:
Two monitor
Keyboard, mouse
Stage operating lever
1996 vintage.
KLA/TENCOR 2132 ist eine optische Inspektionsanlage, die speziell für die Masken- und Waferinspektion entwickelt wurde. Es kombiniert fortschrittliche lichtbasierte Bildgebungstechnologien und Software und bietet eine umfassende und hochpräzise Analyse der Masken- und Waferoberflächen. Das System besteht aus mehreren Einzelkomponenten. Mit einem hochauflösenden Kameramodul werden Bilddaten der Masken und Wafer gesammelt. Das Kameramodul ist dann mit einer Präzisionsrahmen-Abtasteinheit verbunden, die Kamera und Probe in vorgegebenem Muster bewegt, um mehrere Bilder aus verschiedenen Winkeln oder Orientierungen zu erfassen. Eine hochpräzise Laser-Punktpositionierungsmaschine wird verwendet, um Probenmerkmale sowohl in der x- als auch in der y-Achse zu erfassen und zu analysieren. Die Laserspot-Merkmale werden dann automatisch registriert und für mehr Genauigkeit mit dem bildgebenden Werkzeug ausgerichtet. Nach dem Erfassen der Daten werden die Informationen an einen Analysecomputer übertragen. Dieser Analysecomputer verarbeitet die Daten und führt eine Vielzahl verschiedener Inspektionen durch, darunter Partikeldetektion, Texturmessungen, Spannungskontrast, Spektralauswahl, Maskeninspektion und Waferinspektion. Es kann extrem kleine Merkmale, Mängel und Mängel erkennen und JEDE Art von Problemen identifizieren, die spezifisch für die Masken und Wafer sind. Die KLA 2132 bietet branchenführende Geschwindigkeiten und Auflösungen und eine klassenführende Wiederholbarkeit. Es ist in der Lage, Mindestabstände von 5 Mikrometern zu messen und kann Partikel bis zu 1 Mikrometer detektieren. Es kann auch Pin-to-Pin-Freiräume von 3 Mikron genau messen. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie automatische Ausrichtung, automatisierte Zoneninspektion, automatisierte Stanz- und Losidentifizierung, automatisierte Fehlererkennung und detaillierte Datenanalysefunktionen. All dies stellt sicher, dass alle Daten gründlich überprüft und analysiert werden und dass Mängel schnell identifiziert, katalogisiert und gemeldet werden können. TENCOR 2132 ist ein wirklich fortschrittliches Modell, das zuverlässige Inspektionsmöglichkeiten für die Masken- und Waferinspektion bieten kann. Es ist die Ausrüstung der Wahl für eine breite Palette von Branchen, mit seiner überlegenen Geschwindigkeit und Genauigkeit, die sicherstellt, dass jede von ihm inspizierte Maske oder Wafer den höchstmöglichen Standards entspricht. Kurz gesagt, 2132 ist die ideale Lösung für die Masken- und Waferinspektion.
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