Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #9377282 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2132
ID: 9377282
Defect measurement system, 8"'
KLA/TENCOR 2132 ist eine Multi-Sensor-Maske und Wafer Defekt Inspektion Ausrüstung entwickelt, um Wafer Muster zu analysieren, Defekte, und Systemleistung. Das Gerät ist in der Lage, kleinere Defekte auf Oberflächen von Halbleiterscheiben und Masken zu erkennen. Es verwendet eine Reihe von optischen Techniken, einschließlich Infrarot, sichtbare und ultraviolette Inspektionstechniken, um eine Vielzahl von Partikelgrößen, Formen und Zusammensetzungen zu erkennen. Es kann sowohl Binär- als auch Graustufen-Funktionen für die vollständige Fehlererkennung abbilden. Die automatische Tuningmaschine der KLA 2132 ermöglicht die Untersuchung verschiedener Wafer ohne manuelle Einstellung für jeden Wafer. Die erweiterte Mehrfachbildfunktion ermöglicht bis zu 32 Inspektionen pro Feld. Darüber hinaus ermöglicht es die Echtzeitverarbeitung von stark belasteten Datensätzen über ganze Waferoberflächen. Es verfügt auch über eine HiDef-Oberflächenerfassungstechnik, eine proprietäre Wafer-Bildgebungstechnologie, die entwickelt wurde, um gängige bildgebende Artefakte zu eliminieren. TENCOR 2132 eignet sich für eine Vielzahl von Muster- und Defektprüfungen. Es bietet eine sehr wiederholbare und zuverlässige Inspektion, die in der Lage ist, kontrastarme und kontrastreiche Defekte auf weniger als 1 Nanometer zu identifizieren und zu unterscheiden. Es ist auch in der Lage, Bildverschiebungen auf weniger als 0,002 Mikrometer zu unterscheiden. Es verfügt über eine klimatisierte Umgebung, um die Produktleistung und die Einhaltung der Kundenanforderungen sicherzustellen. Das Klimatisierungswerkzeug wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Temperatur in der Inspektionskammer bereitzustellen, um manuelle Temperaturanpassungen zu vermeiden und die Leistung zu optimieren. Sein selbstnivellierendes Wafer-Spannfutter ermöglicht eine schnelle, genaue Platzierung von Wafern. 2132 verfügt über umfassende Software-Integrationsmöglichkeiten. Es verfügt über eine voll ausgestattete, ergonomische grafische Benutzeroberfläche mit einem hochgradig konfigurierbaren Dashboard, mit dem mehrere Benutzer gleichzeitig Wafer-Muster und -Fehler überprüfen und analysieren können. Es unterstützt auch die Automatisierung von Datenerfassungs- und Verwaltungsaufgaben und bietet eine komplette Netzwerklösung. Die Anlage ist für hohe Anforderungen an Produktion und Forschung ausgelegt. Die modulare Konstruktion ermöglicht es dem Modell, mit wachsenden Produktionsanforderungen zu expandieren. Es wird durch ein umfassendes Service- und Supportnetzwerk der KLA unterstützt, das Vor-Ort-Service, 24/7 technischen Support und routinemäßige Wartungsprogramme bietet.
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