Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #9383459 zu verkaufen
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ID: 9383459
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 6"-8"
Main body
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die Herstellern hilft, die Qualität ihrer Halbleiterbauelemente sicherzustellen. Es wird verwendet, um Fehler in Photomasken, technischen Zeichnungen und anderen neu hergestellten Metall- und dielektrischen Schichten zu erkennen und zu charakterisieren. Das KLA 2132 System besteht aus zwei Hauptkomponenten - der Wafer Inspection Unit (WIS) und der Mask Inspection Machine (MIS). Die WIS-Komponente führt die optische Inspektion an unverpackten Wafern durch und sammelt wesentliche Prozess- und Fehlerdaten für die elektrische Prüfung und die Werkzeuganalyse. Es prüft auch Waferparameter, einschließlich Gleichmäßigkeit, geometrische Platzierung und über die Wafer kritische Bemaßungen. Die MIS-Komponente bietet die Stempel-Inspektion eines Fotomasken-Rohteils zur Erkennung von kritischen Defekten wie Schälen oder Verschmutzungen und zum Vergleich mit dem vorgesehenen Design-Layout. Das Tool TENCOR 2132 verwendet eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien, einschließlich hochauflösender digitaler Bildgebung, Off-Axis-Beleuchtung, automatischer Phasenverschiebung und spezialisierter optischer Komponenten für eine verbesserte Bildaufnahme. Seine bildgebende Fähigkeit ermöglicht geometrische Messungen und Fehlercharakterisierung bis hin zum Nanometermaßstab, was bei der frühzeitigen Identifizierung von Problemen im Fertigungsprozess hilfreich ist. Das Asset umfasst auch mehrere integrierte Qualitätssicherungsfunktionen wie einen automatischen Zielauswahl- und Bewertungsprozess. Dies hilft, die Inspektionszeit zu verkürzen und sicherzustellen, dass die kritischsten Mängel vor der Massenproduktion identifiziert werden. Das Modell unterstützt eine transparente Fehlerklassifizierung und soll eine einfachere Integration in Datenbanksysteme ermöglichen. Dadurch eignet es sich für die Integration mit anderen messtechnischen Lösungen, was eine automatisierte Fehlerverfolgung und Charakterisierung ermöglicht. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung eine schnelle Datenspeicherung, sodass Hersteller Änderungen im Laufe der Zeit verfolgen und vergleichen können. Insgesamt ist 2132 ein automatisiertes, hochpräzises Wafer- und Maskeninspektionssystem, das Herstellern dabei hilft, qualitativ hochwertige Geräte herzustellen. Es bietet Anwendern eine zuverlässige und effiziente Plattform für Einheitenintegration, Fehlererkennung und Fertigungsanalyse.
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