Gebraucht KLA / TENCOR 2132 #9389837 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2132
ID: 9389837
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die sowohl für die Prozesskontrolle als auch für das Ertragsmanagement entwickelt wurde. Es ist ein vollautomatisches, fortschrittliches Bildgebungssystem, das Fehler in einer Reihe von Masken-, Wafer- und Photomaskengrößen erkennen und messen kann. Das Gerät setzt auf ein optisches Design mit hohem Durchsatz, präzises Scannen und automatische Autofokusfunktionen, um klare und einheitliche Bilder bei einem durchschnittlichen Durchsatz von 1-2 Proben pro Sekunde zu erhalten. Die Hardware umfasst multispektrale LED-Beleuchtung und eine Kamera mit einem globalen Verschluss CMOS-Sensor. Die Maschinenoptik paart hochauflösende Bildgebung mit großflächiger Erfassung, die eine schnelle Abtastung und Erkennung potenzieller Defekte ermöglicht. Bewegungssteuerung und präzise Sensoren sorgen dafür, dass die Probenbewegung während des gesamten Inspektionszyklus optimiert wird, was zu einer konsistenten und genauen Bildaufnahme führt. Das Tool bietet auch präzise Bildanalyse mit TrueSpectrum Feature-basierten Algorithmen. Speziell entwickelte Algorithmen ermöglichen eine präzise Fehlererkennung mit minimalen Fehlalarmen, die Geschwindigkeit und Genauigkeit ermöglichen. Die Algorithmen können KE-Dimensionen und geometrische Eigenschaften messen und ermöglichen eine Echtzeit-Fehlergröße und -Klassifizierung. Die KLA 2132 wurde mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche entwickelt, die eine einfache Einrichtung und Umstellung sowie eine einfache Datenerfassung, -analyse und -berichterstattung ermöglicht. Dieses Asset bietet auch intuitive Berichtsfunktionen, so dass der Benutzer eine Vielzahl von Formaten für verschiedene Berichte generieren kann. Die Nachbearbeitung der Bildanalyse und die Fehlergröße sind vollautomatisiert. TENCOR 2132 ist mehr als nur ein Masken- und Wafer-Inspektionsmodell. Es kann auch für eine Reihe von Produktions- und Ingenieuranwendungen verwendet werden, einschließlich: Qualitätskontrolle von LCD- und OEL-Elementen, Halbleiterherstellungsprozesse, Qualitätssicherung von Lithographie-Belichtungen, Überprüfung von Photomasken- und Retikelmustern und Fehlererkennung in CCDs. Mit der optionalen Schnittstelle „Systemintegration“ können die Geräte in bestehende Produktions- oder Engineering-Systeme der Anwender integriert werden - eine bessere Steuerung der Prozessabläufe, eine verbesserte Bauteilhandhabung und optimierte Erträge.
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