Gebraucht KLA / TENCOR 2135-IS #293620770 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293620770
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Brightfield wafer defect inspection system, 8"
Process: Metrology
Process module
Control rack
Dual load
Y-axis controller nonfunctional
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2135-IS ist ein Hochleistungs-, Hochleistungs-, Masken- und Waferinspektionsgerät mit fortschrittlichen Bildgebungs-, Analyse- und Berichtsmerkmalen. Dieses System bietet ein Sichtfeld variabler Größe und eine hervorragende Bildauflösung sowohl in der Hellfeld- als auch in der Dunkelfeldbildgebung. KLA- 2135-IS-Einheit kann die kleinsten Defekte auf komplizierten Masken oder Wafern mit Hilfe seiner Beleuchtungsmaschine, verbesserte High-Dynamic-Range-Bildgebung, Laser-Mustererkennung und einzigartige Multi-View-Bildgebungstechniken erkennen. Die fortgeschrittenen Bildgebungstechniken, die von diesem Tool verwendet werden, ermöglichen eine qualitativ hochwertige, fehlerzentrierte Bildanalyse. Das Asset verfügt über mehrere Detektoren, darunter einen 1,3-Megapixel, 8-Bit-CCD-Array-Detektor und einen 50-Megapixel-12-Bit-CCD-Array-Detektor. Der 1.3 Megapixel CCD-Array-Detektor hat tiefe Empfindlichkeit für hochauflösende Bildgebung, die für die Inspektion kritischer Geometrien geeignet ist, während das 50 Megapixel CCD-Array für größere Wafer mit komplexeren Mustern verwendet wird. Aufgrund ihrer großen Detektorgröße und bildgebenden Fähigkeiten bieten diese Detektoren die Möglichkeit, die kleinsten Fehler auch auf großen Wafern zu erkennen und zu analysieren. Eines der Hauptmerkmale von TENCOR 2135-IS ist die Mehrpunkt-UV- und Infrarot-Lasermustererkennung. Diese Funktion ermöglicht eine präzise Abbildung von laserdefinierten Overlay-Merkmalen und Prozessschichten auf dem Wafer und ermöglicht einen Echtzeitvergleich von Waferbildern mit vorgegebenen Referenzbildern und damit eine effiziente Fehlererkennung. Das Modell hat auch eine Hochleistungsdefektfestnahmenausrüstung, die schnell, automatisiert, Defektcharakterisierung und Klassifikation der Maske oder Oblatenbilder ermöglicht. Der Benutzer kann problemlos auf Defekte im System zugreifen, diese entfernen, speichern und kategorisieren. Zusätzlich zu seinen Fehlererkennungsfunktionen verfügt dieses Gerät auch über eine Reihe leistungsfähiger Datenanalyse- und Berichtstools, mit denen der Benutzer detaillierte Berichte mit verschiedenen statistischen Indikatoren wie Fehlergröße, Typ, Ort und Schwere erstellen kann. Insgesamt bietet 2135-IS Maschine eine komplette Masken- und Wafer-Inspektionslösung, die auf hohe Leistung und hohe Erträge ausgelegt ist. Das Werkzeug hilft Herstellern und Fabriken, eine hochwertige Produktkonsistenz zu gewährleisten und erfüllt die anspruchsvollen Anforderungen der Serienfertigung.
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