Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #192496 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 192496
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2000
Patterned wafer defect inspection system, 6"
Handler: 6" open cassette (x2)
Cassette handling: vacuum handling open handler
Robot: KLA robot, single end-effector
Inspection station module: KLA2135-IS
User interface module: KLA2135-UI
Chuck type: low contact (dimpled)
Light spectrum: visible 2.9
Pixel size in um: 0.62, 0.39, 0.25
CE Marked
PC configurations:
CPU: PII 300 MHz
Memory: 512M
OS: Windows NT
3.5” floppy drive
Application software: version 5.3.084
GEM/SESC (HSMS)
Network comm.: BNC, Ethernet (Cat 5)
Fan (blower) Unit
Remote power disconnect panel
Facilities:
Line conditioner: 208 V, 50 A, 3 phase, 50/60 Hz
Inspection station: CDA 80 PSI measured at the main system regulator
Performance requirement:
DSW75 capture rate > 90%.
DSW75 repeatability > 95%
User Manual
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2135 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die eine hochpräzise Fehlererkennung bietet und fortschrittliche algorithmische Techniken zur Erkennung und Messung von Partikelverschmutzung auf jedem Substrat verwendet. Dieses System bietet hervorragende Bildqualität, schnellen Durchsatz und verbesserte Prozessoptimierung. Die KLA 2135 liefert hervorragende Bilder im Dynamikbereich und verwendet eine Vielzahl hochauflösender Scantechniken wie Laserscannen, Elektronenstrahlscannen und parametrische Analysen. TENCOR 2135 bietet eine Vielzahl von leistungsstarken Funktionen, die eine genaue und zuverlässige Inspektion elektronischer Komponenten ermöglichen. Die Maschine ist in der Lage, Sub-Nanometer-Defekte mit hochwertigen Bildern zu erkennen. Damit eignet es sich hervorragend zur Erkennung und Messung einer Vielzahl von prozessbedingten Defekten wie Partikelverunreinigungen, Hohlräumen, Kratzern und anderen optischen Verunreinigungen. Das Tool bietet auch branchenführende Scanner-Technologien und fortschrittliche Bildanalyse-Algorithmen, die eine hohe Ausbeute, genaue Überprüfung und Phasenverschiebungsanalyse ermöglichen. Die erweiterten Defektklassifizierungsfunktionen des Asset ermöglichen es dem Benutzer, Fehler auf Oberflächenebene zu identifizieren und zu klassifizieren, während seine multispektrale Bildgebungstechnik sicherstellt, dass eine Vielzahl von Maskentypen mit genauen Ergebnissen überprüft werden kann. Das Modell bietet außerdem eine automatisierte Prozessoptimierungsfunktion, mit der Anwender einen Prozess schnell analysieren und optimieren können, basierend auf den Ergebnissen jedes bildgebenden Prozesses. 2135 Geräte verfügen zudem über eine hohe Durchsatzprüffähigkeit, die ein schnelles und effizientes Scannen ohne manuellen Eingriff ermöglicht. Es verfügt auch über ein integriertes Fehlerverfolgungs- und Dokumentationssystem, mit dem Benutzer Fehler von mehreren Bildern verfolgen und überprüfen können. Um die genaue und zuverlässige Erkennung und den Vergleich von Fehlern sicherzustellen, verwendet die Einheit KLA/TENCOR 2135 fortschrittliche algorithmische Techniken zur Fehlererkennung und -charakterisierung. Diese Algorithmen wurden entwickelt, um die Effizienz und Genauigkeit im Prozess der Fehlererkennung und -qualifizierung zu maximieren, um eine hervorragende Bildqualität und eine verbesserte Prozessoptimierung zu gewährleisten. Insgesamt ist die Maschine KLA 2135 eine fortschrittliche und kostengünstige Lösung zur Fehlererkennung und -charakterisierung in der Fertigungsumgebung. Es bietet hochpräzise Fehlererkennung mit ausgezeichneter Bildqualität und schnellem Durchsatz sowie automatisierte Prozessoptimierung und effiziente Fehlerverfolgung. Durch die Kombination von Qualität und Leistung ist das TENCOR 2135-Tool eine ideale Wahl für jeden Hersteller, der nach einer fortschrittlichen, effizienten und zuverlässigen Masken- und Waferinspektionsanlage sucht.
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