Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #293610038 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 2135 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente verwendet wird. Es ist ein Werkzeug, das speziell entwickelt wurde, um ein Substrat vor, während und nach dem eigentlichen Produktionsprozess zu überprüfen. Das System verwendet CCD-Kameras (Charge-Coupled Device), um Anomalien oder Defekte auf der Oberfläche von Maske und/oder Wafern zu erkennen. Es bietet einen umfassenden Satz von Tools und Algorithmen, um jeden Fehler automatisch zu erkennen, zu quantifizieren, zu messen und zu klassifizieren. UVP 2135 nutzt hochmoderne UV-Bildgebung (UV) zur berührungslosen Fehlererkennung. Es ist mit pixelgenauer Musteranpassung ausgestattet und kann sowohl für statische als auch dynamische Aufgaben verwendet werden. Die Maschine integriert sich in andere Software und ist in der Lage, mit automatisierten Sonden- und Messtechnik-Systemen zu interagieren. Es kann auch zur Kalibrierung und Messung von Anlagen im Lithographieverfahren verwendet werden. Die Einheit besteht aus einem mustervergleichenden Hochleistungsmotor, vielfachen CCD-Kameras und einer flexiblen Softwareumgebung für die Defektparameteroptimierung. Der Muster-Matching-Motor kann eine beliebige Fehlergröße in einem interessierenden 3D-Bereich erkennen und analysieren. Die CCD-Kameras können Hunderte von Defekten in einem Bruchteil einer Sekunde identifizieren und bieten eine präzise 3D-Abbildung jedes Fehlers. Die Software kann verwendet werden, um die Parameter anzupassen, die in der Musteranpassungs-Engine verwendet werden, sowie die Schwellen, die in der Fehlerklassifizierung verwendet werden. Die gesammelten Daten können von der Software in einer Datenbank gespeichert werden, was einen schnellen und einfachen Abruf von Informationen ermöglicht. Daten können auch verwendet werden, um Berichte zu erstellen und Analysen zu erstellen, die gedruckt oder elektronisch an andere Mitarbeiter gesendet werden können, die für die Manipulation und Optimierung des Prozesses verantwortlich sind. Die Maschine kann in bestehende Messtechnik und Testsysteme integriert werden, wodurch die Prozesszeiten deutlich verbessert, Kosten gesenkt und Prozesse gestrafft werden. Insgesamt ist TENCOR 2135 ein zuverlässiges, leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das die Produktionsgenauigkeit und Qualitätskontrolle für Halbleiterbauelemente gewährleistet. Es ist eine Bereicherung, die die Genauigkeit der hergestellten Teile auf einer Nanoskala gewährleistet. Es ist eine kostengünstige, effiziente Lösung für die Inspektion auf eine Vielzahl von Defekten, sowohl während als auch nach dem Produktionsprozess.
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