Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #9139553 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2135
ID: 9139553
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Bright field inspection system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR 2135 ist eine automatisierte optische Inspektionseinrichtung zur Masken- und Waferinspektion von Halbleiterbauelementen. Es ist für die Inspektion einer Vielzahl von Arten von Masken und Wafern, von Mikro-Prozessoren bis System auf Chips. Sein Design kombiniert die Verwendung von fortschrittlicher Optik, Software-Algorithmen und Materialphysik, um eine erhöhte Genauigkeit, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit zu erzielen. Herzstück des Geräts ist eine hochauflösende Kamera, mit der Bilder des Wafers oder der Maske erfasst werden. Diese Bilder werden dann verarbeitet und analysiert, um strukturelle Defekte, wie Risse und Hohlräume, in der Oberfläche der Vorrichtung zu identifizieren. Die Kamera ist auf einer beweglichen Plattform montiert, die in der Lage ist, den Kamerakopf über einen bestimmten Bereich auf dem Gerät genau zu positionieren. Auf diese Weise können mehrere Bilder um und über ein ganzes Gerät aufgenommen werden. Die von der Maschine eingesetzten Software-Algorithmen sind in der Lage, die von der Kamera aufgenommenen Bilder aufzunehmen und zu analysieren, um spezifische Fehler in der Oberfläche des Wafers oder der Maske zu identifizieren. Dieser Analysevorgang ermöglicht eine hohe Genauigkeit bei der Fehlererkennung. Das Werkzeug ist ferner in der Lage, den genauen Standort der erkannten Fehler zu identifizieren und eine detaillierte Analyse der Fehler vorzunehmen. Neben der Fehlererkennung bietet KLA 2135 eine Reihe weiterer Funktionen. Es ist in der Lage, detaillierte Messungen von Merkmalen innerhalb der Vorrichtung, wie Linienbreiten und Dicken. Diese Messungen können zur Bestimmung der Genauigkeit und Genauigkeit der zu inspizierenden Maske oder Wafer verwendet werden. Der Vermögenswert ist auch in der Lage, eine detaillierte Analyse der Materialeigenschaften des Geräts vorzunehmen, einschließlich seiner optischen Eigenschaften und elektrischen Eigenschaften. Anhand dieser Informationen kann weiter sichergestellt werden, dass die Vorrichtung nach den erforderlichen Spezifikationen hergestellt wird. TENCOR 2135 ist ein hochgenaues und vielseitiges Modell, das in der Lage ist, präzise Inspektionen an einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen durchzuführen. Die Kombination aus fortschrittlicher Optik und ausgefeilten Software-Algorithmen sorgt für eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Fehlererkennung und Materialanalyse.
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