Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #9195908 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2135
ID: 9195908
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2135 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die moderne Halbleiterproduktion. Das System verwendet hochauflösende Bildgebungstechnologie, um Masken und Wafer, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden, genau und schnell zu überprüfen. Diese Einheit ist in der Lage, sowohl Oberflächenfehler, wie Kratzer und Partikel, als auch unterirdische Defekte, wie Hohlräume und Nadelöcher, zu erkennen. Die KLA 2135 besteht aus einer optischen Säule, die eine Lichtquelle, Beleuchtungsoptik und Linsen sowie eine Bildanalysemaschine umfasst, die eine Abtastgeometrie, eine mechanische Abtaststufe und eine Bildverarbeitungssoftware umfasst. Die optische Säule beinhaltet einen Hellfeld-Hellfeldbeleuchter, einen polarisierten Hellfeldbeleuchter und einen Schrägbeleuchter, die alle für die Erkennung von Oberflächen- und Unterflächendefekten in verschiedenen Tiefen erforderlich sind. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über ein großes Sichtfeld und eine hohe numerische Öffnung. Die Bildanalyse von TENCOR 2135 wurde entwickelt, um Bilder mit hoher Geschwindigkeit und hoher Genauigkeit zu analysieren. Die Bildverarbeitungssoftware ist in der Lage, Fehler in Echtzeit zu erkennen und zu klassifizieren, was schnelle Reaktionszeiten und eine hohe Produktivität ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Modell über Wafer-Inspektionsalgorithmen, die die Anzahl der erzeugten Fehlalarme reduzieren sollen. 2135 ist so konzipiert, dass es in automatisierte Produktionslinien integriert werden kann, so dass die Integration in bestehende Anlagen einfach ist. Darüber hinaus ist die Ausrüstung in der Lage, mit anderen Systemen wie Ertragsmanagement, Prozesssteuerung und Track-and-Trace-Systeme zu interagieren. KLA/TENCOR 2135 ist auch mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, so dass Benutzer das System schnell und einfach einrichten und verwenden können. Die KLA 2135 ist ein wesentliches Werkzeug für die moderne Halbleiterproduktion, da sie Anwendern hochauflösende Bildgebungstechnologien, Bildanalysefunktionen und die Integration mit anderen Systemen bietet. Mit TENCOR 2135 sind Hersteller in der Lage, Oberflächen- und Untergrunddefekte in Masken und Wafern schnell und präzise zu erkennen, was eine schnellere und effizientere Produktion ermöglicht.
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