Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #9230398 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9230398
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wafer inspection system, 8"
1996 vintage.
KLA/TENCOR 2135 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um den Durchsatz zu maximieren und dem Prozess der Inspektion von Halbleiterchips beispiellose Genauigkeit zu verleihen. Das System basiert auf einem parallelen Netzwerk von Photonik-Sensoren und einem leistungsfähigen bildgebenden Subsystem zur Erkennung und Unterscheidung von Mustern, Defekten und Materialien auf der Oberfläche integrierter Schaltungen. KLA 2135 verwendet fortschrittliche Laser-Technologie, um komplexe Photomasken und Retikel aus fortschrittlichen Halbleiterdesigns zu inspizieren. Das Gerät ist so konzipiert, dass es komplizierte Formen und Muster auf dem Wafer schnell erkennen und analysieren kann, um etwaige Fehler oder Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche zu erkennen. Durch die Verwendung eines Hochleistungslasers kann es Funktionen bis zur Nanometerskala untersuchen und eine Genauigkeit bieten, die aktuelle Systeme nicht erreichen können. Die Maschine verwendet die neueste optische Bildgebungs- und Detektionstechnologie, um zwischen verschiedenen Materialien auf dem Wafer und in integrierten Schaltungen zu unterscheiden. Die fortschrittliche Software wurde entwickelt, um Fehler wie exponierte Vias, die Überbrückung zwischen Kontaktpunkten und falsch ausgerichtete Transistoren zu identifizieren. Es kann auch auf eine breite Palette von Fremdmaterialien abgestimmt werden, einschließlich Verunreinigungen und Dielektrika. TENCOR 2135 ermöglicht dem Bediener eine breite Palette von Kontrolle über die Parameter der Masken- und Waferinspektion. Es kann verwendet werden, um den Belichtungspegel, die Verstärkung und die Intensität des Laserstrahls einzustellen. Darüber hinaus kann das Werkzeug aus Toleranz von Stress, Oxidation, Kontamination und Deckkraft erkennen. Auf diese Weise kann das Asset Probleme schnell und genau identifizieren, was eine präzise und genaue Debug und Reparatur integrierter Schaltungen ermöglicht. 2135 bietet auch erweiterte Optionen für die Berichterstattung von Ergebnissen. Es hat die Möglichkeit, hochauflösende Bilder, Standardtestmuster und Ergebnisdiagramme für eine spätere Überprüfung zu speichern. Dies macht es den Betreibern leicht, Daten aus früheren Tests schnell zu überprüfen und ein leistungsfähiges Werkzeug zur Problemlösung bereitzustellen. Insgesamt ist KLA/TENCOR 2135 ein leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das beispiellose Genauigkeit und Geschwindigkeit in den Prozess der Halbleiterchip-Produktion bringt. Es ist fortschrittliche Optik, Bildgebung und Erkennungstechnologie machen es in der Lage, hochgenaue Inspektionen durchzuführen und kleine Fehler schnell und einfach zu identifizieren. Die integrierte Berichtsausrüstung macht es einfach, Testergebnisse zu überprüfen und zu speichern, so dass es ideal für eine schnelle und zuverlässige Problemlösung ist.
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