Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #9252720 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9252720
Wafergröße: 8"
Wafer inspection system, 8"
DOS Operation system
Ranom and array mode
Wafer loader and stage, 6"
(2) Open cassettes
System backup drive
SAT Function is valid
Fully safety inter locks
Fully exchaust fan
Switch and button
Joystick
Console panel
Cover
Holder.
KLA/TENCOR 2135 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage von KLA und TENCOR. Es ist ein fortschrittliches System, das eine Hochgeschwindigkeits-, Hochauflösungs- und Hochgenauigkeitsprüfung sowohl von Maskenphotomasken als auch von Halbleiterwafern bietet. Das Gerät verfügt über eine CCD-Kamera (Dual Capacity Charged Coupled Device) zur Abbildung von Masken und Wafern und bietet hochauflösende Bilder von bis zu 2125 nm Tonhöhe bei schneller Belichtungszeit von 400 ns. Es verfügt auch über zwei Leuchtdioden (LED) -Systeme, die in zwei verschiedenen Wellenlängen arbeiten, die absolute Steigung des Produkts anpassen und eine konsistente Erkennung selbst der schwierigsten Fehler ermöglichen. Die KLA 2135 wurde entwickelt, um die fehlerfreie Produktion von führenden Halbleiterbauelementen zu erleichtern. Es bietet einen leistungsstarken Inspektionsprozess mit eingehender Analyse, um Fehler zu erkennen und zu klassifizieren und Verbindungen zwischen ähnlichen Fehlern über mehrere Maskenschichten abzubilden. Die Maschine verfügt auch über ein spezielles Advanced Defect Analysis (ADA) -Werkzeug, das Dunkelfeld- und Hellfeld-Bildgebung verwendet, um kritische Fehler, einschließlich Druckdefekte, schnell und genau zu identifizieren. Darüber hinaus bietet TENCOR 2135 innovative Mustererkennungsalgorithmen zur Erkennung von Musterverschiebungen und Linienbreitenvariationen, die dazu beitragen, die Integrität des Designs zu erhalten. Um die Produktivität zu maximieren, bietet 2135 schnelle Downloadgeschwindigkeiten, Echtzeit-Bildverarbeitung, automatisierte Werkzeugprüfung und Echtzeit-Bewertung von Produktfehlern. Durch eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit Touchscreen-Unterstützung ermöglicht das Tool Benutzern die einfache Einrichtung von Prozessen, den Zugriff auf Daten und die Verwaltung der Inspektion mehrerer Wafer gleichzeitig. KLA/TENCOR 2135 wird durch eine intuitive und freundliche benutzerorientierte GUI und spezielle erweiterte Softwarefunktionen zum Leben erweckt. Dank seiner benutzerfreundlichen Funktionen können Anwender jedes Qualifikationsniveaus schnell von seinen fortschrittlichen Leistungsmerkmalen profitieren. Abschließend ist die KLA 2135 eine Hochleistungs-Masken- und Wafer-Inspektion für die Halbleiterindustrie, die hochpräzise Bildgebung bei schnellen Geschwindigkeiten mit leistungsstarken Fehleranalyse-Funktionen bietet. Seine erweiterten Funktionen und benutzerfreundlichen Fähigkeiten machen es ideal für hohe Serienanforderungen.
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