Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #9254151 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9254151
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wafer inspection system, 8", parts machine
Missing parts:
TDI Module
PLLAD Module
1996 vintage.
KLA/TENCOR 2135 ist eine vielseitige, fortschrittliche automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll von Stoßstange zu Stoßstange mit einer bemerkenswerten Auflösung von 0,5 Mikrometern (500 nm) inspizieren kann. Dies wird durch den Advanced Beam Profiler und das Φ5 mm äußere Sichtfeld ermöglicht, die den genauesten und umfassendsten topologischen Abbildungsprozess kritischer Strukturen auf einer Gesenkfläche erfassen. Das System ist mit Image Coding ausgestattet, um die Messtechnik und Workflow-Genauigkeit zu verbessern. Neben der Stereo-Bildgebung nutzt KLA 2135 die Aerosol Layer Imaging (ALI) Technologie, ein bahnbrechender Ansatz, der hochauflösendere Erkennungen von kleinen Partikeln und Defekten wie Staub und Kontamination aktiviert. Es bietet auch eine integrierte breite Palette Beleuchtung Uniformität Klasse Beleuchtungseinheit mit bis zu 6 verschiedenen Eigenschaften - von Low-Light zu High-Light-Erzielung der besten Bildqualität frei von Schatten oder Flare-Effekte. TENCOR 2135 reduziert auch mehrere Arten von systematischen Fehlern mit seiner innovativen Total Feature Image Analysis (TFIA) Technologie, die einen Mehrpunkt-Charakterisierungsprozess ermöglicht, um verschiedene Mustergrößen und -formen zu identifizieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Farbmaterialkarte für eine verbesserte visuelle Überwachung sowie Eingabe-/Ausgabeeinrichtungen für die Datenübertragung. Es kommt mit einem proprietären Softwarepaket, 7PiiQ, das eine vollständige Reihe von Funktionen von der Inspektion bis zur Optimierung enthält. Visualisieren - Es bietet eine einzigartige Reihe von erweiterten Analysen für Betreiber, um Probleme zu identifizieren und zu beheben. Predict-it funktioniert als automatisierte elektrische, Spannungs- und optische Design-Regelprüfung (DRC), die mit den Seheigenschaften der Matrize verbunden ist, um Fehler an den Vorderkanten sofort zu erkennen. Die Software ermöglicht es Benutzern auch, Konstruktionsregelverletzungen zu verfolgen und zu analysieren und anpassbare Einstellungen für Akzeptieren/Ablehnen zu definieren. 2135 Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug ist eine innovative fortschrittliche Lösung, die in ihrer Geschwindigkeit und Durchsatz sowie Genauigkeit und Auflösung konkurrenzlos ist und es ideal für die Mittel- bis Hochserienproduktion in der Halbleiterindustrie macht.
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