Gebraucht KLA / TENCOR 2138 XP #293792053 zu verkaufen
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ID: 293792053
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1998
Wafer inspection system, 6"-8"
Dual open cassette
CIM: SECS / GEM
Robot
Line conditioner
Fan module
Inspection station
No ADC Station
No ISMF
Controller
Chuck type: Low contact chuck
Line conditioner: 18 KVA, 50 A, 3 Phase
Power requirement (IS Module): 208 VAC, 3 Phase WYE, 50/60 Hz
Power requirement (UI Module): 208 VAC, 3 Phase WYE, 50/60 Hz
Operating system: Windows NT
1998 vintage.
KLA/TENCOR 2138 XP ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Hochleistungs-Bildgebung und Fehlererkennung in Halbleiterherstellungsprozessen. Dieses System kombiniert modernste Technologie mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle, um genaue und zuverlässige Inspektionsergebnisse für kritische Photomaske- und Halbleiterwaferanwendungen zu liefern. KLA 2138 XP nutzt eine ausgeklügelte optische Einheit, die eine hochauflösende Abbildung mikroskopischer Funktionen auf Masken und Wafern ermöglicht. Die Maschine ist mit mehreren Lichtquellen wie Hellfeld, Dunkelfeld und schrägen Beleuchtungstechniken ausgestattet, um den Bildkontrast zu verbessern und die Empfindlichkeit zur Fehlererkennung zu maximieren. Darüber hinaus verfügt das Tool über erweiterte Optik, einschließlich hoher numerischer Aperturlinsen und spezialisierter Bildverarbeitungsfilter, um eine überlegene Bildqualität und Auflösung zu erreichen. Eine der Hauptstärken von TENCOR 2138XP ist seine Vielseitigkeit im Umgang mit verschiedenen Arten von Substraten und Materialien. Die Anlage ist kompatibel mit einer breiten Palette von Masken- und Wafergrößen, einschließlich 200mm und 300mm Wafer und Standard-Maskengrößen in der Halbleiterherstellung verwendet. Es kann auch verschiedene Arten von Substraten wie Silizium, Glas und Verbundhalbleitermaterialien aufnehmen, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie geeignet ist. In Bezug auf die Fehlererkennungsfähigkeit bietet 2138 XP eine umfassende Palette von Inspektionsmodi und Algorithmen, um Fehler mit hoher Genauigkeit und Präzision zu identifizieren und zu klassifizieren. Das Modell verwendet fortgeschrittene Bildverarbeitungs- und maschinelle Lerntechniken, um gesammelte Bilder zu analysieren und zwischen echten Fehlern und Prozessvariationen zu unterscheiden. Es kann eine Vielzahl von Defekten erkennen, einschließlich Partikeln, Musterdefekte und Überlagerungsfehler, die hohe Ausbeute und Qualität in der Halbleiterherstellung gewährleisten. Darüber hinaus verfügt KLA 2138XP über eine intuitive Softwareschnittstelle, die Anwendern eine umfassende Kontrolle über den Inspektionsprozess bietet. Das Gerät bietet anpassbare Inspektionsrezepte und automatisierte Rezept-Setup-Tools, um den Inspektions-Workflow zu optimieren und die Produktivität zu verbessern. Anwender können Bildgebungsparameter, Fehlerklassifizierungskriterien und Inspektionsstrategien einfach anpassen, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen und die Inspektionsergebnisse zu optimieren. Darüber hinaus verfügt KLA/TENCOR 2138XP über erweiterte Datenverwaltungsfunktionen, um Inspektionsergebnisse effizient zu speichern und zu analysieren. Das System kann detaillierte Fehlerkarten, Histogramme und Trendanalysen erstellen, um Fehlertrends im Laufe der Zeit zu verfolgen und die Prozessverbesserung zu erleichtern. Es unterstützt auch die nahtlose Datenintegration mit anderen Prozesswerkzeugen und Fertigungssystemen und ermöglicht eine umfassende Prozesssteuerung und -überwachung in Halbleiterproduktionsumgebungen. Insgesamt stellt 2138XP eine hochmoderne Lösung zur Masken- und Waferinspektion in der Halbleiterherstellung dar. Mit seiner fortschrittlichen Bildgebungstechnologie, seiner vielseitigen Substratkompatibilität, den robusten Fehlererkennungsfunktionen und der benutzerfreundlichen Schnittstelle bietet dieses Gerät hohe Leistung und Produktivität für kritische Inspektionsanwendungen in der Halbleiterindustrie.
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