Gebraucht KLA / TENCOR 2138 #191650 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 2138 ist eine anspruchsvolle Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die zur genauen Erkennung von Schmutz, Kantenwalze und anderen Defekten auf Masken- und Wafersubstraten entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von automatisierten Inspektionstechniken durchzuführen und kann so konfiguriert werden, dass es mit sehr spezifischen Auflösungen und Empfindlichkeitsstufen arbeitet. KLA 2138 ist eine vielseitige Einheit, die sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Der Anwender profitiert von seiner doppelseitigen Scanfähigkeit, die den Zugang zu beiden Seiten des Wafer- oder Maskensubstrats mit einer einzigen Inspektion ermöglicht. Die Maschine ist für maximale Effizienz ausgelegt, so dass Benutzer eine Inspektion in wenigen Minuten abschließen können. Die beiden Hauptinspektionskomponenten des TENCOR 2138-Werkzeugs sind sein hochauflösendes Mikroskop und seine Laserhaube, mit deren Hilfe eine dreidimensionale Karte der zu inspizierenden Probe erstellt wird. Das Mikroskop arbeitet zusammen mit der Kapuze, um kleine Defekte an Masken und Wafern zu erkennen, die vom menschlichen Auge unbemerkt bleiben würden. Dies wird durch Abtasten des betreffenden Materials in Sub-Mikron-Auflösung erreicht. Der Benutzer kann wählen, um seine Inspektionen an seine genauen Spezifikationen in Bezug auf Auflösung und Empfindlichkeit anzupassen. Inspektionen, die mit dem 2138-Mikroskop durchgeführt werden, sind unglaublich genau und weisen eine Fehlererkennungsrate von bis zu 95 Prozent und eine Fehlalarmrate von weniger als 1 Prozent auf. Das Gut geht sogar darüber hinaus, einfach das Vorhandensein oder Fehlen von Trümmern und anderen Mängeln zu erkennen. Es kann auch die einzelnen Mängel in Form, Größe und Orientierung charakterisieren, wodurch der Benutzer eine gründliche Beurteilung des geprüften Materials erhält. Insgesamt ist KLA/TENCOR 2138 ein sehr vielseitiges und zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das eine Vielzahl kleiner Defekte identifizieren und charakterisieren kann. Mit seiner doppelseitigen Scanfähigkeit, anpassbaren Inspektionen und hoher Genauigkeit ist KLA 2138 ein unverzichtbares Werkzeug für Hersteller, die sicherstellen möchten, dass ihre Masken- und Wafersubstrate den Spezifikationen entsprechen.
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