Gebraucht KLA / TENCOR 2138 #192497 zu verkaufen

KLA / TENCOR 2138
ID: 192497
Brightfield defect wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2138 ist eine leistungsstarke automatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur Erkennung einer Vielzahl von Defekten und Fremdpartikeln auf Wafern und Masken entwickelt wurde. Das System nutzt eine Kombination aus fortschrittlicher Messtechnik und zerstörungsfreien Testtechniken für eine effektive Inspektion. Das Gerät nutzt eine fortschrittliche Dual-Sensor-Architektur, die hochauflösende Mikroskop-Bildgebung und gescannte Lasertechnologie kombiniert. Das optische Mikroskop bietet eine größere Auflösung und Kontrast als herkömmliche digitale Bildgebungstechnologie, während die Laserscanmaschine eine genauere Möglichkeit bietet, Fehler zu erkennen. Die beiden Sensoren arbeiten zusammen, um zuverlässige und genaue Inspektionsmöglichkeiten zu bieten. Die KLA 2138 ist mit einer leistungsstarken Bildaufnahme- und -verarbeitungssoftware ausgestattet, die die Fehlererkennung und -charakterisierung optimiert. Die Software verwendet eine Vielzahl von Algorithmen wie Kantenerkennung, Fehlererkennung, Autofokus und Bildverbesserungstechniken, um Fehler und Fremdpartikel selbst in den schwierigsten Mustern schnell und genau zu identifizieren. Das Tool bietet eine Vielzahl von Messparametern, einschließlich Größe, Form und Position. Das empfindliche Gut ist in der Lage, jeden Defekt so groß wie 12 Nanometer und kleiner zu erkennen, ohne die zugrunde liegenden Gerätestrukturen zu beeinflussen. Es kann auch Signale von 235 Nanometern und kleiner, während der Messung in drei Dimensionen. TENCOR 2138 ist ein zuverlässiges und effizientes Instrument zur Inspektion von Masken und Wafern. Es bietet beispiellose Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Erkennung von Defekten und Fremdpartikeln. Das Modell ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien auf verschiedenen Wafergrößen und Oberflächengüte zu überprüfen. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Inspektionsaufgaben durchzuführen, einschließlich Fehleranalyse, Lebensdauertest und Schadensprüfung. Sie soll den Bedarf an Mehrfachinspektionen reduzieren, so dass die Kosten für Inspektionen gesenkt und Ertrag und Durchsatz gesteigert werden.
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