Gebraucht KLA / TENCOR 2138 #293767168 zu verkaufen

ID: 293767168
Weinlese: 1997
Wafer inspection system 1997 vintage.
KLA/TENCOR 2138 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die Automatisierung und digitale Bildgebung nutzt, um Fehler in Halbleiterscheiben und Substraten zu erkennen. Der hochempfindliche Detektionsmechanismus dieses Systems ermöglicht es, punktgenaue Merkmale, pixelierte Muster, kritische Fehler, Linienbreiten und verschiedene andere Substratmängel zu erkennen, die als Indikatoren für Produktfehler dienen können. Die Inspektionseinheit KLA 2138 ist auf hohe Geschwindigkeit und zuverlässige Präzision ausgelegt. Es ist mit Doppelkameras ausgestattet, die es ermöglichen, Bilder sowohl von der vertikalen als auch von der horizontalen Ebene des Substrats aufzunehmen. Seine automatisierte Wafer-Handling-Maschine verwendet Rapid Shuttle-Technologie, um Wafer von Station zu Station zu shuttle, so dass schnelle, einheitliche Inspektionen für jeden Wafer. Ein Regelbetrieb sorgt auch für wiederholbare und genaue Ergebnisse. TENCOR 2138 enthält ein hochauflösendes Inspektionswerkzeug, das sowohl Hellfeld- als auch Dunkelfeldbilddaten scannt und erfasst, um Fehler zu erkennen und zu überprüfen. Dieses Asset optimiert den Bildaufnahmevorgang, indem es automatisch die Belichtungszeit einstellt, um die höchste Bildqualität zu gewährleisten. Es kann auch Anomalie-Muster, einschließlich Partikel, Kratzer, Gruben und andere Variabilität, sowie Linienbreiten und Defekte verschiedener Größen zu erkennen. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, parametrische Daten wie Dicken, Höhen und Größen zu erkennen und zu verarbeiten, um genauere Inspektionsergebnisse zu liefern. Die Bedienungs- und Managementfunktionen von 2138 machen es äußerst benutzerfreundlich. Die touchscreen-gesteuerte Benutzeroberfläche ermöglicht die Echtzeit-Überwachung und Steuerung des Inspektionsprozesses. Zusätzlich kann auf der grafischen Benutzeroberfläche ein detaillierter Bericht über die Untersuchungsergebnisse, einschließlich Fehlertypen und -orte, vorgelegt werden. Das Modell ermöglicht die Speicherung von bis zu 500 Schnitten und 200 Wafern mit allen entsprechenden Inspektionsergebnissen, die sicher im Datenlogger des Geräts gespeichert sind. Insgesamt ist KLA/TENCOR 2138 ein effizientes und leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das eine vollständige Automatisierung, hohe Genauigkeit und außergewöhnliche Zuverlässigkeit bietet. Seine Kombination aus fortschrittlichen Funktionen wie Dual-Kameras, programmierbaren Parametern und intuitiver Benutzeroberfläche macht es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterherstellung.
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