Gebraucht KLA / TENCOR 2139 #135494 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 135494
Wafer inspection system
Upgraded from KLA / TENCOR 2135 UI
PPC power line conditioner
Power requirements: 208V, 3ø, 30A, 50/60Hz
Can be inspected with power on
1997 vintage.
KLA/TENCOR 2139 ist eine hochpräzise, automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage. Es erkennt und misst elektronisch Defekte, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Photomasken auf den Oberflächen von Metallmasken und Halbleiterscheiben vorhanden sein können. Mit seiner fortschrittlichen optischen und Laserabtasttechnologie kann das KLA 2139-System die optischen Eigenschaften von Chips, Transistoren und anderen Schaltungskomponenten auf mikroskopischer Ebene analysieren. Das Gerät TENCOR 2139 verfügt über eine ausgeklügelte Bildgebungs- und Analysefähigkeit, die es ermöglicht, Masken und Wafer schnell zu scannen und auszuwerten. Die Maschine kann auch die kleinsten Mängel erkennen, die mit bloßem Auge möglicherweise nicht sichtbar sind, und sorgt für hervorragende fehlerfreie Erträge. Es verfügt über spezielle Software auf seiner PC-basierten Benutzeroberfläche, die angepasst werden kann, um die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung zu erfüllen. Unter Verwendung berührungsloser, zerstörungsfreier Laser- und optischer Messtechnologien kann das 2139-Werkzeug unerwünschte Partikel und Defekte wie Musterdefekte und Gruben identifizieren. Das Asset kann auch die Beanspruchung von Masken und Wafern messen und ermöglicht eine engmaschige Kontrolle wichtiger Prozessparameter. Das Modell KLA/TENCOR 2139 verfügt außerdem über eine Defektklassifizierung mit geschlossener Schleife, die fehlerfreie Genauigkeit bietet und höhere Erträge und eine verbesserte Geräteherstellung ermöglicht. Dieses System erhöht den Durchsatz und beschleunigt die Prozesszeit, wodurch die Bearbeitungszeit und die Produktkosten reduziert werden. Hochgeschwindigkeitsdatenerfassung und vollautomatisierte Defektklassifizierung sowie Vektor- und Mustererkennung machen das Gerät ideal für die Online-Fehlerinspektion in Echtzeit. Mit der Fähigkeit, Wafer- und Maskengrößen schnell zu messen, kann die Maschine KLA 2139 Bilder bis 2560 x 2560 Pixel in Auflösung mit Pixelgenauigkeit effizient inspizieren. Das TENCOR 2139-Tool bietet mehrere Möglichkeiten zur Probenahme, Prüfung und Auswertung in verschiedenen Bereichen für eine verbesserte Genauigkeit und zur Erkennung ansonsten unmerklicher Fehler, wodurch ein genaues und wiederholbares Messmengen bereitgestellt wird. Es verfügt über eine Vollfarbkarte und einen Review-Display-Modus, mit dem Benutzer die genaue Position und Schwere jedes Fehlers visualisieren können. 2139 Asset ist eine ideale Lösung für die Fehlererkennung, Charakterisierung von Wafer- und Maskenherstellungsprozessen und Designänderung, die Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungs-Bildgebung bietet, um beste Fehlerinspektionsergebnisse zu gewährleisten.
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