Gebraucht KLA / TENCOR 2139 #9390473 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9390473
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Wafer inspection system, 8"
UI+IS
Computer
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD)
Keyboard
Operating system: Windows XP Version
Exhaust
Line conditioner
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2139 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Erkennung von Defekten auf Halbleiterscheiben. Das System kombiniert eine automatisierte optische Inspektionseinheit mit Wafer-Handling und erweiterten Multi-Tool-Analysefunktionen, um eine ultraschnelle, zerstörungsfreie Auswertung und Fehlercharakterisierung verschiedener Arten von Masken und Wafern zu ermöglichen. Die Maschine verfügt über eine automatisierte Umgebung, die hochauflösende automatische Fokussierung, Wafer-Be- und Entladen und hochgenaue Multi-Musterunterstützung umfasst. Die Hardware nutzt große Sichtfelder, um Fehler bis zu 8 µm auf einem fehlerfreien Wafer zu identifizieren. Um die Fehlererkennungsfunktionen weiter zu verbessern, kann das Tool erweiterte Kontrastmodulationen und erweiterte Algorithmen verwenden, um eine Vielzahl von Fehlermodi zu erkennen. Die KLA 2139 bietet automatisierte Fehlercharakterisierungsfunktionen, einschließlich automatisierter Skizzierung, Messung physikalischer Formen, Topologie und Bildmusteranalyse, die helfen, verschiedene Fehler schnell und präzise zu identifizieren. Darüber hinaus bietet das Asset Datenübertragung und -speicherung für die Erfassung von Rohbildern aus dem Fehlerinspektionsprozess und bietet Kunden hochtreue Fehlerbilder. Das Modell ist auch in der Lage, automatisierte Rezepte auszuführen, wodurch Kunden die Zeit für die Analyse von Wafern oder Masken reduzieren können. Dadurch entfällt auch der manuelle Eingriff bei automatisierter Fehlerinspektion. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Fehleranalysefunktionen, die eine schnelle und genaue Erkennung von ertragsbegrenzenden Fehlern ermöglichen. Um zuverlässige und genaue Daten sicherzustellen, bietet TENCOR 2139 automatisierte Kalibrierungs- und Überwachungsoptionen für Systeme, um sicherzustellen, dass die Leistung der Geräte erhalten bleibt und das vollständige Vertrauen der Kunden in die Maschine erreicht wird. Darüber hinaus unterstützt es die Steuerung, die Licht, Hintergrund, Hochspannung, Detektoren und Synchronisation zwischen verschiedenen Optik- und Bildsensoren abdeckt. Insgesamt ist 2139 ein fortschrittliches, automatisiertes optisches Inspektionswerkzeug für die Halbleiterindustrie, das ultraschnelle Fehlererkennung und die Fähigkeit bietet, fortschrittliche Algorithmen und Analysen zur genauen Charakterisierung und Quantifizierung von Defekten an Masken und Wafern zu verwenden. Als solches ist es ein unschätzbares Werkzeug, das Halbleiterherstellern hilft, wettbewerbsfähig zu bleiben.
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