Gebraucht KLA / TENCOR 2350 #9254021 zu verkaufen

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KLA / TENCOR 2350
Verkauft
ID: 9254021
Wafergröße: 8"-12"
High-resolution imaging inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2350 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Mit seinem fortschrittlichen optischen System, der überlegenen Bildgebungsleistung und der integrierten Partikeldetektion bietet KLA 2350 eine umfassende Lösung für die Fehlerinspektion und Messtechnik. TENCOR 2350 verwertet schnelllaufende, hochauflösende Bildaufbereitungskameras, um ein brightfield Bild der Maske oder Oblate zu gewinnen. Diese Detailbilder werden dann auf Echtzeitbasis auf Fehler analysiert, einschließlich Musterschwankungen, Linienbreite und anderen Fehlern. Das Gerät verfügt zudem über eine ausgeklügelte Partikelerkennungsmaschine, die es ermöglicht, Partikel auch auf kompliziertesten Oberflächen zu detektieren. 2350 verfügt über ein modernes optisches Werkzeug, das sowohl hohe numerische Öffnungen als auch Vergrößerungen liefert. Diese Kombination von Merkmalen eignet sich hervorragend für die Inspektion von Masken- und Wafer-Merkmalen. Darüber hinaus umfasst die Beleuchtungsanlage eine Front- und Hintergrundbeleuchtung, die eine optimale Visualisierung von geometrischen Merkmalen, Oberflächenverunreinigungen und Defekten ermöglicht. KLA/TENCOR 2350 wird von einem hochempfindlichen digitalen Signalverarbeitungsmodell angetrieben. Dieses Gerät verwendet Algorithmen, um eine Fehlerklassifizierung durchzuführen und hochgenaue Fehlermessungen zu erzeugen. Das System arbeitet auch in einem geschlossenen Kreislauf, was eine kontinuierliche Fehlerüberwachung und Verbesserung der Gesamtprüfgenauigkeit ermöglicht. KLA 2350 ist in der Lage, eine Vielzahl von Merkmalen zu messen, darunter Linienbreiten, Seitenwandwinkel und andere musterbezogene Fehler. Das Gerät kann auch zur Erkennung von Fremdpartikeln und -materialien sowie zur Berechnung der Überlagerungsgenauigkeit verwendet werden. Erweiterte Berichtsfunktionen ermöglichen es Benutzern auch, Daten für einen einfachen Abruf zu speichern, Echtzeitberichte zu erstellen und Ergebnisse mit anderen Tools zu kommunizieren. Insgesamt ist TENCOR 2350 eine leistungsstarke und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die den anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Mit fortschrittlicher Optik, überlegenen Bildgebungsfähigkeiten, digitalem Signalverarbeitungstool und integrierter Partikelerkennung bietet 2350 eine umfassende Lösung für Fehlerinspektion und Messtechnik.
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