Gebraucht KLA / TENCOR 2351 #9251384 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2351 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung physikalischer Defekte und Verunreinigungen auf IC-Masken und Halbleiterscheiben. Das System kann Muster und Einzelkomponenten auf IC-Masken und Wafern wie Transistorgates, Overlays und Verbindungen messen. Das Gerät verwendet eine Kombination aus DIC (Differential Interference Contrast) optischer Bildgebung und automatisierten programmierbaren Mustererkennungsalgorithmen, um die Komponenten auf der Maske oder dem Wafer zu überprüfen. Die Maschine ist für die Inspektion von Oberflächen von bis zu 12-Zoll-Wafern oder Masken ausgelegt und kann einfach in eine IC-Fertigungslinie integriert werden. Die durch die DIC-Bildgebung gewonnenen Bilder werden zunächst zur weiteren Analyse an die integrierte Bearbeitungseinheit des Werkzeugs gesendet. Diese Verarbeitungseinheit ist in der Lage, Fehler sowie andere Oberflächenvariationen wie Kratzer, Makel und Verunreinigungen zu erkennen. Darüber hinaus umfasst das Asset eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Auf diese Weise kann der Benutzer die Prüfparameter und die Algorithmen anpassen, die zum Testen verwendet werden. Beispielsweise kann der Benutzer einen bestimmten Teil des Wafers oder der Maske auf verschiedenen Kontrastebenen oder in verschiedenen Bereichen überprüfen. Darüber hinaus ist der Benutzer in der Lage, das Modell anzupassen, um kritische Fehler wie Drahtshorts und offene Schaltungen zu erkennen oder kleinere Funktionen wie Kontaktvias und Pads zu überprüfen. Darüber hinaus kann KLA 2351 Musterverschiebungen und Verschlechterungen erkennen. Es kann auch Partikelverunreinigungen auf dem Wafer oder der Maske erkennen. Dieses Gerät ist mit einem hochauflösenden Objektiv ausgestattet, um kleine Funktionen bis zu 0,4 Mikrometer genau zu erfassen und zu analysieren. Darüber hinaus ist es in der Lage, Bilder von reflektierenden Oberflächen mit weniger als 0,2% Reflexionsvermögen zu erfassen. Insgesamt ist das TENCOR 2351-System ein wirksames Werkzeug zur Analyse von Masken und Wafern integrierter Schaltungen auf physikalische Fehler, Kontamination und andere Unregelmäßigkeiten. Mit seinen programmierbaren Mustererkennungsalgorithmen, benutzerfreundlichen GUI und hochauflösenden Bildgebungsfunktionen ist dieses Gerät eine ideale Wahl für automatisierte IC-Inspektion und -Analyse.