Gebraucht KLA / TENCOR 2360 IS #9187557 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2360 IS ist eine robuste Masken- und Waferinspektionsanlage, die den Anforderungen von Gießerei- und fortschrittlichen Logikherstellern gerecht wird. Seine fortschrittlichen Algorithmen und anspruchsvollen Optiksysteme ermöglichen es ihm, die kritischen Merkmale von Masken und Wafern mit beispielloser Geschwindigkeit und Präzision genau zu identifizieren und zu messen. Seine vollständige Maskeninspektionsfähigkeit bietet eine hochgenaue Fehlererkennung, einschließlich LER-Messungen (Line Edge Roughness), mit einer Genauigkeit von einem Nanometer. Seine lichtquellenbasierte Inspektionstechnologie erkennt antireflektive Mikrokontaminationsbeschichtungen (MARCs) und dünne Filme sowie lokale Defekte an der Maske. Das System führt auch eine automatische Fehlerklassifizierung durch, wodurch sichergestellt wird, dass prozessbedingte Fehler erkannt und herausgefiltert werden, wodurch die Gesamtfehlalarmrate reduziert wird. Zu den Funktionen der Waferinspektion gehören erweiterte automatisierte Fehlerisolierung, Zuordnung und Schnittstelle zu Fehlerprüfungstools, die eine schnelle Analyse von Fehlermustern ermöglichen. Das Gerät verfügt auch über rauscharme, Multi-Pixel-Bildgebung, so dass es Fehler erkennen kann, die mit Einzelpixel-Empfindlichkeit übersehen werden können. Es bietet auch schnelllaufende, hochauflösende Oblatenbedeckungsmetrologie, Nervennettoklassifikation und defektverfolgende Algorithmen für die weitere Präzision an. KLA 2360 IS umfasst eine automatisierte optische Inspektionsmaschine (AOI), die eine umfassende Inspektion von Wafern und anderen Substraten ermöglicht. Dieses Tool bietet automatisierte Musteranpassungen und Spotinspektionen für Footprint, Linienbreite, kritische Dimension (CD), Overlay und Collapse-Inspektion, wodurch Hersteller Erträge und Kosten reduzieren können. Darüber hinaus ist seine flexible Quellarchitektur in der Lage, verschiedene Ebenen der Sehkorrektur, einschließlich Out-of-Fokus und Front-Surface-Aussehen Analysen. TENCOR 2360 IS bietet fortschrittliche Automatisierungssysteme für den Aufbau und die Prozessplanung. Seine automatischen Kalibrierungsfunktionen können verwendet werden, um das Asset schnell und genau auf die auftragsspezifischen Anforderungen abzustimmen. Dies spart Zeit und Kosten, da keine manuelle Kalibrierung erforderlich ist. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, das Modell mit minimalem Training zu konfigurieren und zu bedienen. Insgesamt ist 2360 IS eine leistungsstarke und präzise Ausrüstung, die ein unschätzbares Maß an Leistung und Effizienz für die Masken- und Waferinspektion bietet. Mit fortschrittlichen Algorithmen, ausgefeilter Optik und umfassender Automatisierung ist es eines der besten verfügbaren Masken- und Wafer-Inspektionssysteme auf dem Markt.