Gebraucht KLA / TENCOR 2367 #200219 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 2367 ist eine anspruchsvolle Ausrüstung zur Analyse von Wafersubstraten und Retikeln, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) verwendet werden. Diese fortschrittliche Maschine überprüft die verschiedenen Komponenten innerhalb und um jedes Retikel auf Oberflächenfehler, Formunregelmäßigkeiten und elektrische Defekte. Die UCK 2367 bietet Anwendern auch einen detaillierten Bericht über den Zustand und die Integrität jedes zu testenden Wafers. TENCOR 2367 ist für den Einsatz in Halbleiterfertigungslinien konzipiert. Es vereint eine Reihe verschiedener Bildgebungs- und Inspektionstechnologien, wie ladungsgekoppelte Geräte (CCD) und Röntgenbilder, energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) und Rasterelektronenmikroskopie (SEM). Diese Technologien münden in ein automatisiertes Datenerfassungssystem, das detaillierte Informationen über die elektronischen und strukturellen Merkmale jeder zu inspizierenden Maske und Wafer sammelt. Der Inspektionsprozess beginnt mit einer gründlichen Abtastung jeder Waferoberfläche. 2367 isoliert dann potenzielle Defekte, wie Hohlräume, Risse, Kratzer und Nadelöcher. Es verwendet dann die CCD- und Röntgenbilder, um den genauen Standort jedes Fehlers zu identifizieren. Die hochauflösende SEM- und EDS-Fähigkeit von KLA/TENCOR 2367 wird zum Scannen auf elektrische Fehler verwendet. Es erkennt Unregelmäßigkeiten in Transistormasken und Abstände zwischen Verdrahtungsmustern. Sobald alle Fehler erkannt sind, erstellt und analysiert das Gerät die Daten, bevor es einen umfassenden Bericht über den Zustand jedes geprüften Wafers ausgibt. Kritische Informationen können aus dem Prüfbericht extrahiert werden, einschließlich Fehlergröße, Ort, Schwere und wahrscheinliche Umwelt- oder mechanische Ursachen. Die UCK 2367 soll eine detaillierte Analyse der gesamten Waferoberfläche ermöglichen. Es bietet zuverlässige Erkennung von gemusterten und nicht gemusterten Defekten und setzt den Standard für Inspektionsqualität und Genauigkeit. Mit seiner globalen Unterstützungsmaschine und dem etablierten Servicenetz ist TENCOR 2367 die ideale Wahl für Halbleiterhersteller, die sich der Herausforderung stellen, High-End-Geräte für anspruchsvolle Anwendungsfälle herzustellen.
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