Gebraucht KLA / TENCOR 2367 #293794239 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2367 ist eine hochwertige, hochpräzise Masken- und Waferinspektionsanlage. Es wurde entwickelt, um eine schnelle, zuverlässige und umfassende Fehlerinspektion und -analyse für Umgebungen bereitzustellen, die ein sehr hohes Maß an Kontrolle und Genauigkeit erfordern. Das System verwendet eine Kombination aus 3D-Bildgebungs-, Scan- und Bildanalyse-Algorithmen, um Fehler in den Strukturen von Halbleitermasken und Wafern zu erkennen und zu klassifizieren. UCK 2367 basiert auf einer leistungsstarken Multi-Achsen-Einheit, die eine proprietäre High-Definition-Bildgebungstechnologie verwendet. Es ermöglicht die Vollfeld-3D-Bildgebung und Scanbereichsabdeckung basierend auf bis zu vier Bewegungsachsen. Die mechanische Maschine wird von einem hochauflösenden Encoder angetrieben, der die Bewegung der vier Bewegungsachsen steuert. Dies ermöglicht die Erfassung einer großen Anzahl von Bildern bei hohen Geschwindigkeiten mit sehr hoher Genauigkeit. Die in TENCOR 2367 eingesetzte fortschrittliche 3D-Bildgebungstechnologie ist für die hochauflösende Bildgebungs- und Fehlerprotokollidentifikation verantwortlich. Das bildgebende Werkzeug wird zusammen mit ausgeklügelten Bildanalyse-Algorithmen verwendet, um Fehler in den Strukturen der Maske und des Wafers zu erkennen und zu analysieren. Das Asset führt eine automatisierte Fehlererkennung für alle Arten von Dimensionen, Folien und Oberflächenfehlern durch, einschließlich Gruben, Chips, Brüche, Kratzer und Oberflächenrauhigkeiten, und erstellt detaillierte Berichte über die Fehleranalyse. Zusätzlich ist 2367 ein integriertes Metrologiemodell, das in der Lage ist, Objekte in 3D zu messen. Die Präzisionssonde des Geräts ist für die Messung verantwortlich und ist mit dem Controller verbunden, um eine genaue Positionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Anschließend werden die Messungen von der integrierten Software des Systems analysiert und gemeldet. Darüber hinaus verfügt KLA/TENCOR 2367 über zusätzliche Funktionen, die Anwendern mehr Flexibilität und Kontrolle bieten. So verfügt es beispielsweise über eine automatisierte Autofokuseinheit, die eine genaue Fokussierung über das gesamte Scanfeld gewährleistet und somit eine manuelle Anpassung entfällt. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine „Fast-Mode“ -Scanoption für Hochgeschwindigkeits-Scans sowie die Möglichkeit, einzelne interessante Regionen zu konfigurieren, die eine schnelle, gezielte Fehlercharakterisierung ermöglichen. Insgesamt ist KLA 2367 ein fortschrittliches Werkzeug für die Inspektion und Analyse von Masken und Wafern. Es nutzt anspruchsvolle Bildgebungs- und Bildanalysetechnologien, kombiniert mit präziser Bewegungssteuerung und Messtechnik, um eine schnelle, zuverlässige und genaue Fehlererkennung und -charakterisierung zu ermöglichen.