Gebraucht KLA / TENCOR 2367 #9206183 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9206183
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
OS: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Interface data transfer DVD-R ethernet
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
2006 vintage.
KLA/TENCOR 2367 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die die beste optische und Bildsensortechnologie kombiniert, um eine überlegene Visualisierung und Fehlererkennung zu ermöglichen. Das System umfasst zwei unabhängige 6-Achsen-Stufenemulatoren zur Masken- und Waferinspektion. Es hat auch eine UV-Lichtquelle für Hellfeld, Dunkelfeld und UV-Bildgebung. Es verfügt über automatisierte, programmierbare Beleuchtungsgeräte für die Bildgebung bei mehreren Frequenzen und integrierte Backgating-Fähigkeit. Die Maskeninspektionseinheit (MIS) hat ein 254mm Sichtfeld für echte Flächeninspektion bei hohen Vergrößerungen. Es verfügt über erweiterte 3D-Funktionen, wie z. B. Ansichtsnähte und Wellenfront-Messtechnik, für präzise Inspektion und Overlay-Fähigkeit. Die Maschine kann auch klare Bilder von kleinen Defekten wie Oberflächenverunreinigungen und Partikeln identifizieren und erfassen. Das Wafer Inspection Tool (WIS) ist ein in sich geschlossenes Asset, das für jede Anwendung angepasst werden kann. Das Modell umfasst eine hochauflösende Bildaufnahmekamera und eine Breitfeldoptik zur Fehlererkennung sowie Mehrfachbeleuchter für die Oberflächenbildgebung. Das WIS verfügt zudem über ein Multi-Touch-Display und eine grafische Benutzeroberfläche zur intuitiven Bedienung. KLA 2367 ist eine zuverlässige Ausrüstung für die Masken- und Waferinspektion. Es bietet programmierbare Steuerungen und automatisierte Sequenzierung für schnelles, genaues Screening. Es verfügt auch über fortschrittliche Analysetechnologie, um kleine Fehlertypen und leicht übertragbare Bilder zu identifizieren. Das System ist benutzerfreundlich und prüft Produkte mit hohen Kosten für Ausfallzeiten und Fehler. TENCOR 2367 ist eine ausgezeichnete Lösung für die Herstellung von Masken und Wafern sowie für die Halbleiterindustrie. Es inspiziert Produkte durch die modernsten Technologien, die heute verfügbar sind, und ist ein unschätzbares Werkzeug zur Steigerung von Effizienz und Qualität. Mit seinen leistungsstarken Funktionen und seiner Flexibilität kann das Gerät sowohl Sub- als auch Surface-Level-Defekte in kurzer Zeit leicht erkennen und erfassen. Es bietet überlegene Unterstützung für automatisierte und manuelle Operationen, um die höchsten Qualitätsergebnisse für jedes Projekt zu gewährleisten.
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