Gebraucht KLA / TENCOR 2367 #9293245 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2367 Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung ist ein fortschrittliches automatisiertes Wafer und Maske Inspektionssystem entwickelt, um schnell und genau Halbleiter Fertigungsprozesse zu analysieren. Es verwendet eine vollautomatische und integrierte Instrumenten-, Software- und Optikeinheit, um visuelle und messtechnische Defekte auf Halbleiterscheiben mit mehr Genauigkeit und Geschwindigkeit als herkömmliche Inspektionsmethoden zu erkennen. Die Inspektionsmaschine KLA 2367 ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einer hochauflösenden Wafer-Übersichtskamera, einer automatischen optischen Positionierung (AOP) sowie Muster- und Fehlererkennungswerkzeugen ausgestattet. Das Vollfeldabbildungs-Subsystem verwendet einen optischen Strahlteiler und eine CCD-Kamera, um eine überlegene Bildauflösung und Mustererkennung zu erzielen und gleichzeitig die Verzerrung der Kamera zu minimieren. Damit ist sichergestellt, dass jeder Defekt schneller und einfacher erkannt werden kann als mit herkömmlicher Inspektionstechnik. Die leistungsstarke AOP-Funktion von TENCOR 2367 ermöglicht eine extrem genaue Substratausrichtung innerhalb von 0,25 μ m der Zielposition. Darüber hinaus hat das Tool die Fähigkeit, verschiedene Arten von Fehlern durch den Einsatz von Fehlererkennungsalgorithmen und Bildverarbeitung zu identifizieren. Die Werkzeuge zur Mustererkennung ermöglichen es dem Asset, Fehler zu erkennen, die auf verschiedenen Mustern basieren, z. B. Fehler, die durch herkömmliche Inspektionsmethoden unentdeckt geblieben sind. Das Modell bietet auch Messungen und Analysen kritischer KEs, wie die geometrischen Abstände zwischen benachbarten KEs, Abweichungen von beabsichtigten Formen und Abstände zwischen KEs aus mehreren Perspektiven oder Ansichten. Um eine detailliertere Analyse durchzuführen, bietet 2367 auch ein fortschrittliches Messpaket mit Funktionen für genaue und präzise Messungen. Die quantitativen Analysetools des Geräts ermöglichen die Fehlerverfolgung und -bewertung sowie die Charakterisierung von Merkmalen und Strukturen. Darüber hinaus bietet das System auch ein Werkzeug zur KE-Analyse, das Formgröße und Formvariationen mit höchster Genauigkeit erkennen kann. Insgesamt ist die Masken- und Waferinspektionseinheit KLA/TENCOR 2367 eine robuste automatisierte Inspektionsmaschine, die Halbleiterherstellern helfen kann, ihre Betriebskosten zu senken und die Rentabilität zu steigern. Die erweiterten Funktionen und leistungsstarken Analysetools des Tools ermöglichen eine schnellere und einfachere Fehlererkennung bei gleichzeitig hervorragender Genauigkeit und Präzision. Auf diese Weise gewährleistet die KLA 2367 eine Qualitätskontrolle im Halbleiterherstellungsprozess.