Gebraucht KLA / TENCOR 238 #9091298 zu verkaufen

KLA/TENCOR 238 ist eine hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Das System ist für die Erkennung von Defekten an Halbleiterscheiben und Masken während des Pre-Lithographie-Prozesses ausgelegt. Es ist in der Lage, Genauigkeit innerhalb von 12nm zu erkennen, während sein Hochgeschwindigkeitsbetrieb es ermöglicht, bis zu 25.000 Wafer pro Stunde zu überprüfen. KLA 238 kombiniert mehrere innovative Inspektionstechnologien, um präzise Messungen zu liefern. Die eingebaute leitfähige Ausrichteinheit erkennt effizient Musterdefekte an der Kante des Wafers zur gleichmäßigen Platzierung der Matrize. Ein Bildprozessor mit einem Pseudorandom Binary Sequence (PRBS) -Algorithmus erkennt und isoliert Defekte in Nanometerauflösung genau. Die Maschine verwendet außerdem eine patentierte HPD-Einstellung (High-Speed Protuberance Detection), um Defekte auf Oberflächenebene wie Kratzer, Gruben und kleine Partikelverunreinigungen zu identifizieren. TENCOR 238 kann Partikelverunreinigungen zwischen 2 und 12 µm erkennen und ist mit einem Datenübertragungs- und Kommunikationsmodul zur direkten Datenintegration in bestehende Fabrikautomationsnetzwerke ausgestattet. Dieses Tool verfügt auch über einen eindeutigen Pass/Fail-Kennzeichnungsalgorithmus, der hilft, falsch positive Erkennungen zu reduzieren. Die kompakte Bauweise der Anlage macht es einfach, in jeder Halbleiterproduktionsumgebung einzusetzen. Seine hochdynamische Flache ist in der Lage, eine maximale Fehlausrichtung von ± 6 σ zu erreichen, was wiederholbare, geordnete Geräteprofilprüfungen ermöglicht. Die verbesserten Bildgebungsfunktionen des Modells gewährleisten eine vollständige Abdeckung jeder Waferoberfläche, wobei alle 50 Prozent jedes Sichtfelds erfasst und inspiziert werden. 238 umfasst auch eine komfortable PC-basierte Datenverwaltungsschnittstelle, die den Benutzern eine Echtzeit-Fehlerdatenanalyse bietet. Insgesamt ist KLA/TENCOR 238 eine zuverlässige und präzise Inspektionsanlage, die mehrere innovative Technologien kombiniert. Seine einzigartigen Erkennungsfunktionen und Datenintegrationstechnologie vereinfachen die Halbleiterproduktion und ermöglichen genaue und umfassende Inspektionen.