Gebraucht KLA / TENCOR 238 #9395887 zu verkaufen

KLA/TENCOR 238 Mask and Wafer Inspection Equipment ist ein automatisiertes Inspektionssystem, das speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das Gerät bietet eine schnelle und genaue Inspektion der Positionierung von Ausrichtungsmarkierungen, Markierungsmessungen und andere Anforderungen an die Musterüberlagerung kritischer Wafer-Niveaumerkmale. Es ist in der Lage, Funktionen auf beiden Kanten und Muster Randformen zu überprüfen, einschließlich 0,18 Mikron-Geräte. Das automatisierte Inspektionswerkzeug der Maschine bietet hohen Durchsatz und hohe Genauigkeit in Kombination mit einer Reihe von Inspektionsmöglichkeiten für Wafer-Level-Features. Es kombiniert überlegene Flexibilität mit einfacher Programmierung und kann schnell die Ausrichtung von Werkzeug- und Behältermerkmalen und anderen kritischen Ausrichtungsmarkierungen überprüfen. KLA 238 besteht aus einer Dual-Source-Optik mit sowohl Hellfeld- als auch Dunkelfeldbeleuchtung, die eine automatisierte Inspektion sowohl positiver als auch negativer Muster an Siliziumwerkzeugen und Behältereigenschaften ermöglicht. Das Modell verfügt über eine mehrachsige Stufe mit einer schnellen Bildfrequenz von 8,5 Hz und einer Genauigkeit von 1 Mikron, wodurch es für hochpräzise Anwendungen geeignet ist. Das Gerät ist in der Lage, Bilder von spezifisch zielgerichteten Funktionen zu erkennen; Beispiel: Messen der Position und Größe von Ausrichtungsmarken. Es kann Überlagerungen zwischen verschiedenen Ebenen vergleichen und sogar kleine Merkmale wie Submikron-Strukturen messen. Das System TENCOR 238 ist mit fortschrittlicher Software integriert und ermöglicht eine einfache Schnittstelle mit anderen Fertigungssystemen. Es verfügt über eine flexible, intuitive Benutzeroberfläche und kann einfach und schnell für die Inspektion einer Vielzahl von Funktionen programmiert werden. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe von Verfahren zur Qualitätskontrolle und Fehlermanagement. Es verfügt sowohl über manuelle als auch automatische Fehleranalysefunktionen, so dass es auch schwierig zu entdeckende Fehler erkennen kann. Die Maschine kann unregelmäßig geformte Fehler, fehlerhafte oder fehlende Merkmale und andere mögliche Fehler auf Waferebene identifizieren. Insgesamt ist 238 Maske und Wafer Inspection Tool ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, um Fehler während des Herstellungsprozesses zu finden. Es bietet eine schnelle und genaue Inspektion der Wafer-Level-Funktionen und hilft, die Produktqualität durch seine ausgeklügelten Fehlererkennungs- und Qualitätskontrollprozesse zu gewährleisten.