Gebraucht KLA / TENCOR 2401 Viper #9074146 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9074146
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Macro-defect inspection system, 8"
Handler type: Autoloader with single end effector
Loadport: (2) 8" Open cassette
Operating system: Windows NT 4.0
No signal tower
Light handling
Camera: Dark & bright camera
GEM / SECS
Defect sensitivity: 50um
Pattern pitch: Min 0.15mm, max 50um
Throughput: 110 Wafers/hr
Computer configuration:
CPU: Pentium III MMX 550MHz
RAM: 800M
Hand drive disk: 18G & 9G
Monitor
CD-ROM / Floppy
Jaz
Digital printer
Facilities:
Input power: 100VAC +/-10%, 50/60Hz @8A
Input vacuum: 534-610mmHg
Input VCDA: 50-60psi (42 kg/cm2)
Exhaust flow: 200 CMF
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung, die überlegene Leistung zu einem wettbewerbsfähigen Preis bietet. Das System verwendet eine optische Abbildungseinheit aus fünf Kanälen, von denen vier grafische Verarbeitungsfähigkeiten enthalten, die jeweils spektrale Filterlinsen sowie mechanische Präzisionskomponenten enthalten. Diese Maschine erzeugt ein dynamisch fokussiertes hochauflösendes Bild mit einer hohen Geschwindigkeit von bis zu 25 Bildern pro Sekunde. Die erfassten Bilddaten werden mit fortschrittlichen Algorithmen und Software schnell und genau gespeichert und analysiert. Das Werkzeug kann Linienbreiten, Liniengeometrie und Fehlertypen identifizieren sowie die KE-Änderung von einer Bildbelichtung zur nächsten bestimmen. Der Viper verfügt über eine Lichtquelle, die mehrere Laserquellen für die breitbandige Beleuchtung mit Polarisationsfunktionen enthält, wodurch eine breite Palette von Farben für die Bilderfassung verwendet werden kann. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein dynamisches Pfad-Management-Modell, das eine einfache Navigation rund um den Chip und Schaltungsmuster ermöglicht. Der Viper ist mit einer hochpräzisen optischen Positioniereinrichtung ausgestattet, die in der Lage ist, die Optik für jeden einzelnen Wafer auszurichten und einzustellen. Dies ermöglicht eine genaue Bildaufnahme und -analyse. Das System ist auch mit einer integrierten Patientenverfolgungseinheit ausgestattet, die von unschätzbarem Wert ist, um eine große Probengröße im Laufe der Zeit mit Konsistenz und Genauigkeit zu überprüfen. Die Maschine ist auch mit einer temperaturgesteuerten Kammer ausgestattet, um die Stabilität der Temperatur und Feuchtigkeit während der gesamten Probenuntersuchung und -analyse zu gewährleisten. KLA 2401 Viper Mask and Wafer Inspection Tool ist ein Branchenführer für Masken- und Wafer-Inspektionssysteme. Seine Genauigkeit, Geschwindigkeit und Preis bieten einen großen Wert für Labor- und Elektronikfachleute gleichermaßen. Mit hochmodernen Bilderfassungs- und Verarbeitungsfähigkeiten, Fehlererkennung und Merkmalsänderungsanalyse ist die Viper ein unschätzbares Werkzeug in der Halbleiterherstellung und Inspektionsindustrie.
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