Gebraucht KLA / TENCOR 2401 Viper #9195297 zu verkaufen

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ID: 9195297
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 2000
Wafer inspection system, 4"-8" Cassette to cassette system Compatible wafer carriers: 4, 5, 6, 8 (2) Cassette ports Unit set up: 8" Optical measurement unit Operating system: Windows NT Throughput: 85 W / H Wafer mapping Double discharge lamp: Wafer illumination Particles and scratches macro inspection: > 50 microns Instant pictures: 1 KB x 1 KB with 2 linear CCDs Stage moving: Y Axis 2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung von Musterfehlern mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Das System besteht aus zwei Abtastlasern, die zur Analyse der Oberfläche von Masken- und Waferproben auf Unregelmäßigkeiten verwendet werden. Dieser Vorgang wird als Fehlerüberprüfung bezeichnet. Das Gerät verwendet eine einzigartige zwei Laser-Maschine namens „Perception“, um Fehler genau zu identifizieren. Das Tool verwendet zwei unabhängige Scanlaser, um Fehlerüberprüfungsinformationen aus verschiedenen Winkeln gleichzeitig zu sammeln. Dies hilft, den Zeitaufwand für die Inspektion einer Probe zu reduzieren und die Genauigkeit der Ergebnisse zu verbessern. Darüber hinaus enthält das Asset erweiterte Algorithmen, die Anomalien erkennen können, die mit herkömmlichen Methoden schwer zu erkennen sind. Die Bildverarbeitungsfunktionen von KLA 2401 Viper ermöglichen es Benutzern, Beispielbilder, die auf der integrierten Benutzeroberfläche angezeigt werden, schnell zu überprüfen. Die Bildauflösung ist auf verschiedene Einstellungen für verschiedene Phasen des Inspektionsprozesses einstellbar, einschließlich Fehlerreparatur, Fehlerisolierung, Pass/Fail und Ausrichtung. Das Modell verwendet auch eine hochgenaue optische Stufe, um den Wafer oder die Maskenprobe in 3-Achsen-Richtung genau zu bewegen. Dies ermöglicht eine größere Kontrolle über den gesamten Prozess. Die integrierte Kalibriersoftware ermöglicht es Anwendern, einheitliche Scanparameter über das gesamte Gerät zu verwalten. Darüber hinaus ist das System mit einem Strichcodeleser ausgestattet, der eine schnelle und genaue Erfassung von Inspektionsdaten ermöglicht. Schließlich bietet das Softwarepaket von TENCOR 2401 Viper umfassende Funktionen, um höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit bei der Inspektion von Wafern und Masken zu gewährleisten. Dazu gehören ein Tool zur Bildüberprüfung, ein Tool zur Fehlererkennung und -ortung, ein automatisches Benutzerhandbuch, umfassende Daten und Fehlerberichte sowie Tools zur einfachen Sicherung und Speicherung von Daten. All diese Eigenschaften machen 2401 Viper zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Masken- und Wafer-Inspektionsaufgaben.
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