Gebraucht KLA / TENCOR 2410 Viper #293592063 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2410 Viper ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um Produktionsgenauigkeit und Qualität zu maximieren. Es ist ein automatisiertes Inline-Wafer-Inspektionssystem, das eine kostengünstige Inspektion von Geräteschichten ermöglicht und eine hochauflösende Bildgebung und Fehleranalyse ermöglicht. KLA 2410 Viper kann das Vorhandensein und Fehlen kritischer Mängel bestimmen, um eine schnelle Ablehnung von nicht spezifizierten Teilen zu ermöglichen. Das Gerät bietet eine hervorragende Bildauflösung und Hochgeschwindigkeits-Bildaufnahme, automatisierte Bildaufnahme und -verarbeitung sowie wiederholbare Ergebnisse. TENCOR 2410 Viper ist mit einer hochmodernen Optikmaschine ausgestattet, bestehend aus zwei ultravioletten Objektiven, vier telezentrischen Objektiven, einer CCD-Kamera und drei Laserlinien. Durch die Rasterelektronenstrahltechnologie ermöglicht die 2410 eine präzise Bildgebungsfähigkeit bis zum Nanometer mit einer Auflösung von bis zu 0,5 Mikron. Das Werkzeug verfügt über drei Laserlinien zur Bilderfassung (optische Zeichenerkennung, Fehlererkennung und Konturabtastung). Die OCR-Linie ermöglicht die Identifizierung und Bewertung von Overlay über hinterleuchtete Bilder, während ihre 0,5 µm Bildgebung Lesefunktionen bis zu 6 µm ermöglicht. Die Fehlererkennungslinie ist eine hochauflösende Zeile, mit der Defekte bis zu 2 µm erkannt und vergrößert werden. Die Konturscanlinie unterstützt die Überlagerungsgenauigkeitsmessung und wird verwendet, um eine 2D-Ansicht von Stempelfehlern bereitzustellen. 2410 Viper verfügt auch über automatisierte Ergänzung und Referenzierung von 100s of field-of-views in einem Werkzeug ohne manuelle Kalibrierung. Es ist auch in der Lage, automatisierte Fehlerklassifizierung, Bildclustering und Frame-to-Frame-Vergleich, so dass es die gleichen Fehler in aufeinanderfolgenden Bildern zu identifizieren. KLA/TENCOR 2410 Viper kann schnelle, wiederholbare Ergebnisse liefern, auch über eine große Gruppe von Wafern, um einen schnellen Durchsatz und minimale Ausfallzeiten zu gewährleisten. Darüber hinaus verbessern patentierte Wafer-Inspektionsalgorithmen der KLA die Genauigkeit, beheben Risiken und reduzieren den Ertragsverlust von Geräten. Durch die Kombination präziser und wiederholbarer Ergebnisse ist KLA 2410 Viper der ideale Vorteil für die Inspektion moderner Halbleiterchips mit hoher Dichte.