Gebraucht KLA / TENCOR 2606 #199591 zu verkaufen

ID: 199591
Weinlese: 1992
Defect Review Station, parts system, 1992 vintage.
KLA/TENCOR 2606 ist eine führende Masken- und Waferinspektionsanlage zur Erkennung von Defekten in Halbleiterscheiben und -masken. Mit dem mitgelieferten Wechselnetzadapter und der optischen Quelle bietet es ein unvergleichliches Maß an Genauigkeit und Auflösung. Die UCK 2606 verwendet eine Kombination aus telezentrischer Optik und proprietären Algorithmen, um fehlerhafte Bereiche mit extrem niedrigen Fehlalarmraten zu erkennen und zu lokalisieren. Die telezentrische Optik der TENCOR 2606 zeichnet sich durch ihre Fähigkeit aus, ein gleichmäßiges Lichtmuster über die gesamte Probe zu werfen. Dadurch werden abwechselnde Abstände von der Lichtquelle vermieden, was eine genau fokussierte Inspektion ermöglicht. Gleichzeitig bewegt der z-Achsen-Antrieb des Systems die Probe durch eine kontrollierte Bewegung, die einen genauen Scan gewährleistet, während ein zweistufiger Filter unnötige Hintergrundgeräusche schnell eliminiert. Genaue Messdaten sind unerlässlich, um die optimale Leistung integrierter Schaltungen zu gewährleisten. 2606 berücksichtigt die Auswirkungen von Maskentopographie, Mustern und Verzerrungen, um die genauesten Parameter zu identifizieren. Es ermöglicht beispielsweise die Fähigkeit, die Kantenplatzierung auf einen Bruchteil eines Mikrons zu messen und so die höchste Qualität der hergestellten Produkte zu gewährleisten. KLA/TENCOR 2606 kann große Bereiche von Wafermaskensubstraten schnell scannen und bietet gleichzeitig eine kostengünstige Lösung. Das Gerät ist mit einer 200-Megapixel-Area-Array-Kamera ausgestattet, einem Bildaufnahmemechanismus, der ohne Unterbrechung mit voller Geschwindigkeit arbeitet. Es verwendet vier 12-Bit-ADCs, die komplexe Bilder auf genaue digitale Informationen reduzieren, was es zu einer idealen Wahl für Maschinendesigner bei der Herstellung von Ultra Large Scale Integrated Circuit (ULSIC) macht. KLA 2606 ist der perfekte Begleiter für die Hochgeschwindigkeitsbahninspektion. Einfach zu bedienen, bietet das Tool eine Vielzahl von Programmieroptionen, mit denen der Benutzer den Inspektionsprozess für eine Reihe von Anwendungen anpassen kann. Die Automatisierungsfunktionen des Asset ermöglichen eine schnelle Einrichtung und Anpassung, während die sequentielle Analyse Zeit spart. All diese Merkmale machen TENCOR 2606 zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Entwicklung moderner Halbleitertechnologie.
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