Gebraucht KLA / TENCOR 2800 #9117287 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9117287
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Bright field inspection systems, 12"
Dual SMIF (EFEM) with phoenix handler
GEM SECS & HSMS
Signal light tower (R,Y,G,B)
Mercury xenon lamp 350W
Wave length of illumination: 260 ~ 450nm
Selectable wave length band (Visible, UV, DUV)
Pixel size: 90 ~ 250nm
(2) ISOPORT Loadports
X & Y & Theta stage restraint locking tool
ADSC Locking screw
CRTA, MIC0, MIC1
Stored in a cleanroom
2005 vintage.
KLA/TENCOR 2800 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Mikrochip-Industrie. Es verwendet eine Kombination aus fortschrittlicher Optik und automatisierter Verarbeitung, um Fehler in integrierten Schaltungen auf Halbleiterscheiben und Masken zu erkennen, die in der Mikrochip-Produktion verwendet werden. Das System ermöglicht eine zerstörungsfreie Analyse von Mikrochipfehlern auf Wafer- und Packungsebene und ist damit ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung von hochzuverlässigen Chipsätzen. Die Optikeinheit der KLA 2800 besteht aus vier Ausrichtmodulen, wobei zwei als Bildaufnahmeeinheiten und zwei als Ausrichteinheiten fungieren. Alle vier Module arbeiten in Verbindung mit einer optisch-mechanischen Ausrichtmaschine, um genaue Messungen zu erhalten. Die optischen Systeme können Defekte mit einer Vielzahl von Größen von Nanometern bis Millimetern erkennen und sind in der Lage, zweidimensionale Abbildungen für Wafer-Düsen optisch durchzuführen. Das Werkzeug schließt auch ein umfassendes Sensorpaket ein, das aus mehreren Bestandteilen, einschließlich eines Laservibrationsabfragungsvermögenswertes von Doppler, eines automatisierten spektroskopischen Reflektometers und eines automatisierten Defektentdeckungsmodells besteht. Die Laservibrationsabfragungsausrüstung von Doppler erzeugt ein High-Fidelitybild der Oblate, und sterben Sie für die hochauflösende Defektentdeckung. Das automatisierte spektroskopische Reflektometer untersucht die Oberfläche des Wafers auf Reflexionsänderungen, die auf das Vorhandensein von Defekten hinweisen können. Das automatisierte Fehlererkennungssystem wurde entwickelt, um Fehler an der Form eines Chips zu erkennen, einschließlich Leitungsabbrüche und Fehlstellungen. TENCOR 2800 ist mit mehreren Datenmanagement- und Softwarekomponenten ausgestattet, mit denen Benutzer die Daten des Geräts anpassen und darauf zugreifen können. Die Softwarekomponenten ermöglichen es Benutzern, Fehlerdaten zu analysieren, Fehler zu kategorisieren, Abtastraten festzulegen, auf historische Neukonfigurationsinformationen zuzugreifen und Fehlerberichte zu generieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein automatisiertes Datenspeicherwerkzeug mit mehreren Speicherplätzen und zugänglichen Dateneingabepunkten. Darüber hinaus ist 2800 ein umweltfreundliches Gut und bietet mehrere Maßnahmen zur Verringerung der Umweltbelastung und des Energieverbrauchs. Das Modell entspricht der europäischen RoHS-Richtlinie und kann nach der ISO 14001 Umweltmanagementausrüstung betrieben werden. Darüber hinaus bietet das System mehrere energiesparende Maßnahmen, wie den Einsatz von LEDs mit geringer Leistung und reduzierter Belüftung sowie Maßnahmen zur Verringerung der Lärmbelastung. Insgesamt ist KLA/TENCOR 2800 eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionseinheit, die eine genaue und zuverlässige Analyse von Chipfehlern ermöglicht. Die Kombination aus fortschrittlicher Optik und automatisierter Verarbeitung, umfassendem Sensorpaket und robusten Softwarefunktionen machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug bei der Herstellung von hochzuverlässigen Mikrochips.
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