Gebraucht KLA / TENCOR 2830 #9260081 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9260081
Weinlese: 2010
System
Module: EFEM
Includes:
YASKAWA XU-RCM9206 Robot
Pre-aligner: XU-ACP330-B10, ERCM-NS01-B003
Controller
2010 vintage.
KLA/TENCOR 2830 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung der Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Es verfügt über ein hochauflösendes Infrarot (IR) -Bildgebungswerkzeug, das mikroskopische Merkmale auf der Waferoberfläche erkennen und messen kann, einschließlich Defekte, Dotierstoffkonzentrationen, Filmdicke, Korngrenzen, Widerstand und andere mikrostrukturelle Eigenschaften. Die automatisierte Software des Systems bietet eine schnelle und effiziente Analyse der Testergebnisse. Es ist mit einer computergestützten Wafer-Handhabungseinheit, Präzisions- und Geschwindigkeitsabtastoptik und erweiterten Analysealgorithmen ausgestattet. Die Maschine kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufnehmen. UCK 2830 verwendet bildgebende Technologie, um die Topographie einer Waferoberfläche genau zu messen und detaillierte Bilder zur Analyse zu erzeugen. Das Werkzeug misst genau die Höhe und das Muster der Beulen, Gruben oder anderer mikroskopischer Merkmale eines Wafers. Es zeichnet auch die optische Reflektivität der Topographie im IR-Spektralband auf und liefert einen geeigneten Datenbereich, um etwaige Mängel zu identifizieren, die die Geräteleistung beeinflussen können. Die automatisierte Software des Asset ermöglicht die schnelle Erfassung, Überprüfung und Analyse von Wafer-Testdaten. Mit dieser Software können Benutzer benutzerdefinierte Parameter wie Scanbereich, Spotgröße und Abtastrate festlegen, um den gewünschten Detailgrad zu ermitteln. Die Software bietet auch eine bequeme Möglichkeit, Wafer-Testdaten zu speichern und zu verwalten. Mit seiner Fähigkeit, winzige Merkmale auf Waferoberflächen abzubilden und zu identifizieren, ist TENCOR 2830 ein wertvolles Werkzeug für fortgeschrittene Fertigungstests und elektrische Messungen auf Halbleiterscheiben. Es ist auch eine kostengünstige Lösung für die Waferanalyse und Fehlererkennung. Dadurch ist das Modell zu einer unschätzbaren Ressource in der Halbleiterindustrie geworden.
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