Gebraucht KLA / TENCOR 2835i EFEM #9230778 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9230778
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
System, 12"
YASKAWA Robot 9206
With (2) IsoPort
2008 vintage.
KLA/TENCOR 2835i EFEM ist eine hochleistungsfähige, automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage, die eine hochauflösende, hochdurchsatzreiche und genaue Fehlererkennung liefert. Dieses System bietet erweiterte Inspektionseffizienz und beispiellose Erträge sowohl bei herkömmlichen als auch bei automatisierten Mikroskopen. Die hochmoderne Kombination aus Optik, Mechanik und fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen ermöglicht eine zuverlässige und genaue Fehlererkennung bei gleichzeitiger Erhöhung des Waferbearbeitungsdurchsatzes um den Faktor zehn gegenüber herkömmlichen Methoden. Zu den Hauptmerkmalen von KLA 2835i EFEM gehören: automatisierte Inspektion mit hohem Durchsatz, die Möglichkeit, über 20 Wafer gleichzeitig zu scannen, vier einstellbare Säulen für den gewünschten Winkel und ein hoher Arbeitszyklus von bis zu 1200 Wafern pro Stunde. Das Gerät kann auch Referenzbilder für POV-Anwendungen mit hoher Vergrößerung sowie einen schnellen 3D Point of View (POV) -Scan einstellen, der eine Auflösung von bis zu 10um erreichen kann. Die 2835i verfügt auch über eine Dual-Kamera-Maschine, die Automatisierung und Genauigkeit für die Bewertung Mikrometer-Partikel und Defekt-Charakterisierung bietet. Es ist an Bord automatische E-Beam Defect Management (EDM) Werkzeug ermöglicht es Ingenieuren, schnell Wafer zu inspizieren und Fehlerfunktionen und Daten direkt in Bilddateien extrahieren. Das Asset integriert auch die patentierte KLA Background Noise Reduction (BNR) -Funktion, die genauere Oberflächen- und Fehlerwerte ermöglicht, was zu stark verbesserten Wafererträgen führt. TENCOR 2835i EFEM ist ein leistungsstarkes und innovatives Inspektionsmodell, das alle Kundenanforderungen erfüllt und übertrifft. Die überlegene Leistung des Geräts wird durch seine einfach zu bedienende Softwareschnittstelle und erweiterbare Systemkonfigurationen ergänzt, sodass Benutzer ihre Einheit an ihre speziellen Anforderungen anpassen können. Mit seinen erweiterten Bildverarbeitungsfunktionen, der intuitiven Benutzeroberfläche und den automatisierten Fehleranalysefunktionen ist 2835i EFEM das perfekte Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion.
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