Gebraucht KLA / TENCOR 3Di #9384479 zu verkaufen

KLA/TENCOR 3Di ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine überlegene Fehlererkennung für die Hochgeschwindigkeitsherstellung integrierter Schaltungen ermöglicht. Es verfügt über 3D-Bildgebungstechnologie, die Höhen-, Farb-, Hellfeld- und Dunkelfeldinformationen verwendet, um mikroskopische Fehler zu erkennen, sowie Wafer-zu-Masken-Ausrichtungsfähigkeit, um die Form mit bekannten Mustern zu vergleichen und Abweichungen zu erkennen. KLA 3Di ist mit einem 5-Megapixel-Detektor ausgestattet, der eine hochauflösende Abbildung kritischer Merkmale ermöglicht und eine höhere Empfindlichkeit bei der Erkennung von Fehlerquellen ermöglicht. Es bietet auch leistungsstarke, spezialisierte Algorithmen, um Daten schnell und präzise sowohl parametrische als auch nicht-parametrische Fehler zu analysieren. Das System ist mit erweiterten Pixel-Binning-Funktionen konfiguriert, um einen höheren Durchsatz zu ermöglichen, ohne auf Fehlerempfindlichkeit zu verzichten, Kompatibilität mit Standardformaten für die automatisierte Fehlerinspektion und eine Datenakkumulationsfunktion, die inspizierte Bilder und zugehörige Waferinformationen zur Analyse und Archivierung speichert. TENCOR- 3Di können Fehler in der Größenordnung von Sub-Mikron-Größen sowohl in 2D als auch in 3D erkennen, wobei 3D-Profile in Echtzeit visualisiert oder als Referenzdatei für eine spätere Analyse gespeichert werden. Es ist in der Lage, fehlende, verschobene, gestreckte, gedrehte oder anderweitig falsch ausgerichtete KEs und Ebenen zu identifizieren. Es kann auch benötigte Daten aus dem Bild wie Topographie, Schritthöhen und Konturlinien extrahieren. Das Gerät ist mit allen gängigen Maskenlithographiesystemen kompatibel und dank seiner intuitiven Benutzeroberfläche können die Inspektionsparameter angepasst, rohe Waferbilder angezeigt und mehrere Fehlertypen analysiert werden. Es verwendet eine kompatible Bühnenmaschine, so dass es einfach einzurichten und schnell zu überprüfen, was sonst ein extrem komplexer Prozess sein kann. Schließlich ist 3Di Tool mit intelligenten Auto-Discovery-Algorithmen ausgestattet, die subtile Fehler in Advanced-Node-Bildern erkennen können, was einen besseren Ertrag und eine verbesserte Gesamtgerätequalität bietet. Dies ermöglicht eine schnellere Markteinführung für fertige Geräte.