Gebraucht KLA / TENCOR 7200 #293828742 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 7200 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur präzisen Inspektion von Schichten in Photomasken oder Wafern verwendet wird. Es verwendet eine fortschrittliche optische Inspektionstechnologie, die Defekte mit einer Auflösung von 0,1 µm auf Wafern mit Dicken zwischen 0,3 und 2,4 mm erkennt. Damit eignet es sich für den Einsatz bei der Herstellung von hochpräzisen Hochleistungs-Halbleiterbauelementen und MEMS. Das KLA 7200 System besteht aus einer Reihe von Komponenten, darunter eine Red Skin Bühne, eine Bildaufnahmeeinheit, eine Mustererkennungsmaschine und ein Fehlerüberprüfungswerkzeug. Die Red Skin-Bühne kann sowohl Photomasken als auch Wafer aufnehmen, während das bildgebende Element - bestehend aus einer Lichtquelle, einer Optik und einer Kamera - Bilder der Probe mit einer maximalen Auflösung von 0,1 µm aufnimmt. Das Mustererkennungsmodell verwendet dann Algorithmen, um Kanten- und Strukturunregelmäßigkeiten zu erkennen, während die Fehlerüberprüfungsausrüstung eine Bibliothek von Bildern speichert und sie auf Konformitäts- und Diskrethitätsfehler überprüft. TENCOR 7200 System ist in der Lage, eine Vielzahl von Proben zu verarbeiten. Bei Photomasken kann das Gerät Oberflächenfehler, Linienbreitenungleichförmigkeiten und Pinholes erkennen. Für Wafer kann es Muster übereinstimmen Defekte, Linienbreite Unregelmäßigkeiten, Partikelfehler und so weiter erkennen. 7200 verfügt zudem über erweiterte Softwarefunktionen, die die Verwendung und Verarbeitung von Daten erleichtern. Dazu gehören automatisierte Wafer-Map-Sortierung, fortgeschrittene Run/Trace-Analyse und maskenloser Autofokus. Insgesamt ist KLA/TENCOR 7200 eine vielseitige und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die eine hochpräzise Erkennung von Oberflächen- und Schichtunregelmäßigkeiten bietet. Die Kombination aus fortschrittlicher optischer Inspektionstechnologie, umfassenden Softwarefunktionen und effektiven Fehlerüberprüfungsverfahren machen es zu einer idealen Wahl für Hersteller, die eine Vielzahl von Komponenten mit höchster Genauigkeit prüfen möchten.
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