Gebraucht KLA / TENCOR 9110 #293606940 zu verkaufen

KLA/TENCOR 9110 Maske und Wafer Inspection Equipment ist eine hochwertige automatisierte Inspektionsplattform für die automatisierte Inspektion von Lithographiemasken und Wafern. Das KLA 9110-System enthält eine vollständig integrierte optische Einheit, Algorithmen zur Analyse der Bildqualität (IQA) und eine vollautomatische Software-Suite, die schnelle und genaue Ergebnisse für Großaufträge ermöglicht. Die Maschine TENCOR 9110 verfügt über eine 5MP CMOS digitale Bildgebungsplattform mit einstellbaren optischen, skalierten und fokussierten Untersystemen. Das Werkzeug ist mit einer vollständig geschlossenen optischen Kammer ausgelegt, die ein großes Sichtfeld und große Dynamikbereiche ermöglicht. Die Optik nutzt eine Kombination aus Linsen, Farbfiltern und achromatischen Prismen, die ein breites Sichtfeld, hochauflösende Bildgebung und Bildanalyse ermöglichen. Die Integration des KLA-Algorithmus ermöglicht das automatische Filtern von Fehlern basierend auf CAD-Mustern, Substrattyp, Asset-Einstellungen und mehreren anderen Parametern. Der Algorithmus wird durch eine einzigartige Reihe von Messungen ergänzt, darunter Spektrometer, Bildgebung und Dimensionierung, Kennzeichnungskennzeichen, Inspektionsdatenerfassung und -analyse sowie Fehlergrößenmessungen. Das Modell bietet auch eine interaktive, intuitive Benutzeroberfläche, die bei der Qualifizierung von Fehlern, der Einrichtung von Inspektionsparametern, Engineering Graphing, Mustererkennung und mehr hilft. Diese intuitive GUI verfügt über ein vollständig integriertes Hilfemenü, das eine einfache Navigation und Bedienung ermöglicht. 9110 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte bieten extreme Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die hohe Präzision und Visualisierung des Inspektionsprozesses macht das System für viele Anwendungen gut geeignet, einschließlich Halbleiter-Wafer-Inspektion, Stempel-zu-Stempel-Inspektionen, Wafer-Ebene Fehlerdarstellung und Maskenintegrität und Mustergenauigkeitsprüfungen. Um die Sicherheit und den Schutz von Personal und Ausrüstung zu gewährleisten, umfasst das Gerät eine Reihe von Zubehörkomponenten. Dieses Zubehör umfasst eine Vakuummaschine, ein Kühlwerkzeug, eine mechanische Robe und einen selbsthemmenden Deckel, der ein minimales Risiko für Verschmutzungen aus äußeren Quellen gewährleistet. KLA/TENCOR 9110 Asset kommt auch mit Schleudergewichtsoptimierung, um Vibrationen zu minimieren und die Gesamtgenauigkeit bei der Verarbeitung größerer Produktionsaufträge zu verbessern. Insgesamt ist das Masken- und Wafer-Inspektionsmodell KLA 9110 eine zuverlässige, hochgenaue und intuitive Inspektionsplattform für die automatisierte Inspektion von Lithographiemasken und Wafern. Die zahlreichen Funktionen, robuste Algorithmen und intuitive Benutzererfahrung ermöglichen es Anwendern, Inspektionsaufträge schnell und präzise zu bearbeiten.