Gebraucht KLA / TENCOR Archer 10 XT #293750588 zu verkaufen

KLA/TENCOR Archer 10 XT ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die überlegene Bildgebungsfunktionen bietet, um eine fortschrittliche Wafer-Fehlererkennung und Prozessüberwachung zu ermöglichen. KLA- ARCHER10XT ist in der Lage, Fehler bis zu 10nm genau zu erkennen. Das System verwendet eine Vielzahl von Technologien, einschließlich Hochgeschwindigkeits-Scans, Low-Flux-Lichtquellen mit < 400 nm Pixelauflösung und dreidimensionale Mikroskoptechnologie mit 0,3 nm lateraler und z-Achsen-Auflösung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über die neuesten Fehlererkennungsalgorithmen, um einen hohen Durchsatz und eine effiziente Inspektion von Masken- und Waferoberflächen zu ermöglichen. TENCOR ARCHER 10XT kann für automatisierte 2D-, 3D und defektbasierte Inspektionen von Masken- und Waferoberflächen eingesetzt werden. Es unterstützt über 500 verschiedene Arten von Defekten und bietet überlegene Erkennungs- und Charakterisierungsfunktionen. Die Maschine ermöglicht auch eine effiziente Scanzeit für verschiedene Arten von Inspektionen, einschließlich Linienbreiten/CD, kritischer Bereich/CAD-Analyse und Partikel-/Fehlerinspektion. Die hochauflösende Abtastoptik des Werkzeugs ermöglicht eine hochempfindliche Detektion bei 10 nm oder weniger. Das Asset verfügt über ein Open-Architecture-Design mit einer modularen Konfiguration, die eine einfache Erweiterung und Flexibilität ermöglicht. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, einschließlich Fernzugriff und Automatisierung, Unterstützung mehrerer Benutzer und Anzeige in Echtzeit mit mehreren Punkten. Darüber hinaus bietet das Modell durch seine Full-Service-Optionen, wie FOUP-Verarbeitung, Bildbibliotheken und Fehlerverfolgung, einen hohen Prozessdurchsatz. KLA Archer 10 XT beinhaltet auch eine umfassende Palette von Prozessanalyse-Tools, um eine umfassende Wafer-Prozesssteuerung zu ermöglichen. Das Gerät liefert Ergebnisse für Wafer in weniger als drei Minuten und eine Vielzahl von Datenerfassungsmodi, einschließlich Spot-Check, Photomaske, Fokuskarten, Linienbreite-Scans und Fehlerkarten-Anzeige. ARCHER10XT bietet auch umfassende Automatisierungsfunktionen, einschließlich der Planung und Koordinierung von Jobs, der automatischen Ausrichtung und Fokussierung, der automatischen Fehlerisolierung und der automatisierten Datenanalyse. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau eine einfache Verbesserung durch prozessspezifische Softwaremodule, so dass Kunden ihr System an einzigartige Prozessanforderungen anpassen können. Insgesamt ist KLA ARCHER 10XT eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die rauscharme Bildgebung und erweiterte Fehlererkennungsfunktionen bietet. KLA/TENCOR ARCHER 10XT ist mit seinen Prozessfähigkeiten mit hohem Durchsatz, modularem Aufbau und Automatisierungsfunktionen eine großartige Lösung für Kunden, die fortschrittliche Inspektions- und Prozesskontrollen benötigen.