Gebraucht KLA / TENCOR Archer 10 XT #9280138 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9280138
Wafergröße: 12"
Overlay measurement system, 12"
With ASYST Isoport Load port, P/N: 9700-9129-01 REV. K
Dual load ports EFEM
BROOKS AUTOMATION Handler
With pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Signal light tower: Red / orange / green
Main body
Handler
Monitor
I/O Interface board
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Pneumatic box
Optic
Z-Stage
Printer
Shelf
Keyboard
Mouse
Signal light tower
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Robot blade, P/N: 6-0002-0999-SP
BROOKS AUTOMATION, P/N: 6-0052-0887-SP
Controller
EMO
Floatation controller
(5) Motion controllers
Computer
Shutter module
Lamp housing module
PZT Controller
DC Transformer
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase.
KLA/TENCOR Archer 10 XT ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage der nächsten Generation, die die anspruchsvollsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung erfüllt. Das vom führenden Inspektionstechnologieanbieter KLA entwickelte System verfügt über mehrere Top-of-the-Line-Tools wie erweiterte Mustererkennung, 3D-Oberflächenmessung, digitale Bildkorrelation und Predictive Analytics. KLA ARCHER10XT ist das neueste Modell in der TENCOR-Produktfamilie von ultrahochgenauen, hochgeschwindigen bildgebenden Lösungssystemen für die Herstellung, Verpackung und Fehleranalyse von Wafern und Masken. Mit einem Schwerpunkt auf Geschwindigkeit, Präzision und Robustheit bietet TENCOR ARCHER 10XT erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen bei Auflösungen bis 133 nm. Das Rasterelektronenmikroskop (SEM) der Einheit bietet ein digitales Bild mit ultrahoher Auflösung von Elementen wie Transistortoren und anderen Funktionen auf einem Wafer. Dies kann in einem einzigen Scan erfolgen, so dass eine Vielzahl von Inspektionsstrategien angewendet werden können. Die Maschine kann schnell und effektiv inspizieren und detaillierte, genaue Daten produzieren, mit denen Fehler oder Variabilität mit unübertroffener Geschwindigkeit, Präzision und Genauigkeit identifiziert werden können. KLA/TENCOR ARCHER 10XT verfügt über eine fortschrittliche DefectTeller™ 3D-Oberflächenmessung, die die Oberflächenrauhigkeit für unübertroffene Global CD (GCD) misst und Fehler mit hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit identifiziert und mappt. Die UltraArt™ Predictive Analytics und die digitalen Bildkorrelationsmöglichkeiten des Tools ermöglichen es Anwendern, Funktionen auf ihrem Gerät oder ihrer Maske präzise und zuverlässig zu messen. Das Asset kann auch einfach mit zusätzlichen Leistungsverbesserungen aufgerüstet werden, wodurch die Grenzen der Waferinspektion überschritten werden. Mit dem KLA/TENCOR exklusiven 'Swap & See' Upgrade-Prozess können Kunden ihren TENCOR Archer 10 XT aktualisieren, ohne neue Hardwarekomponenten kaufen zu müssen, was einen maximalen Wert und eine Optimierung der gesamten Prozessleistung ermöglicht. KLA ARCHER 10XT ist die ideale Lösung für eine Vielzahl von Herstellern, von Sub-Wellenlängen-Geräten wie Smartphones bis hin zu Advanced-Node-Prozessknoten für führende Halbleiterbauelemente. Das Modell bietet hervorragende Fehlererkennung, Kosteneinsparungen und zuverlässige Fertigungsleistung und setzt einen neuen Standard für Wafer- und Maskeninspektionen.
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