Gebraucht KLA / TENCOR Archer 10 XT #9280138 zu verkaufen

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ID: 9280138
Wafergröße: 12"
Overlay measurement system, 12" With ASYST Isoport Load port, P/N: 9700-9129-01 REV. K Dual load ports EFEM BROOKS AUTOMATION Handler With pre-aligner and robot SBC Controller Robot controller Signal light tower: Red / orange / green Main body Handler Monitor I/O Interface board Floppy Disk Drive (FDD) CD ROM Drive Tape drive Pneumatic box Optic Z-Stage Printer Shelf Keyboard Mouse Signal light tower Missing parts: BROOKS AUTOMATION Robot blade, P/N: 6-0002-0999-SP BROOKS AUTOMATION, P/N: 6-0052-0887-SP Controller EMO Floatation controller (5) Motion controllers Computer Shutter module Lamp housing module PZT Controller DC Transformer Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase 208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase.
KLA/TENCOR Archer 10 XT ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage der nächsten Generation, die die anspruchsvollsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung erfüllt. Das vom führenden Inspektionstechnologieanbieter KLA entwickelte System verfügt über mehrere Top-of-the-Line-Tools wie erweiterte Mustererkennung, 3D-Oberflächenmessung, digitale Bildkorrelation und Predictive Analytics. KLA ARCHER10XT ist das neueste Modell in der TENCOR-Produktfamilie von ultrahochgenauen, hochgeschwindigen bildgebenden Lösungssystemen für die Herstellung, Verpackung und Fehleranalyse von Wafern und Masken. Mit einem Schwerpunkt auf Geschwindigkeit, Präzision und Robustheit bietet TENCOR ARCHER 10XT erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen bei Auflösungen bis 133 nm. Das Rasterelektronenmikroskop (SEM) der Einheit bietet ein digitales Bild mit ultrahoher Auflösung von Elementen wie Transistortoren und anderen Funktionen auf einem Wafer. Dies kann in einem einzigen Scan erfolgen, so dass eine Vielzahl von Inspektionsstrategien angewendet werden können. Die Maschine kann schnell und effektiv inspizieren und detaillierte, genaue Daten produzieren, mit denen Fehler oder Variabilität mit unübertroffener Geschwindigkeit, Präzision und Genauigkeit identifiziert werden können. KLA/TENCOR ARCHER 10XT verfügt über eine fortschrittliche DefectTeller™ 3D-Oberflächenmessung, die die Oberflächenrauhigkeit für unübertroffene Global CD (GCD) misst und Fehler mit hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit identifiziert und mappt. Die UltraArt™ Predictive Analytics und die digitalen Bildkorrelationsmöglichkeiten des Tools ermöglichen es Anwendern, Funktionen auf ihrem Gerät oder ihrer Maske präzise und zuverlässig zu messen. Das Asset kann auch einfach mit zusätzlichen Leistungsverbesserungen aufgerüstet werden, wodurch die Grenzen der Waferinspektion überschritten werden. Mit dem KLA/TENCOR exklusiven 'Swap & See' Upgrade-Prozess können Kunden ihren TENCOR Archer 10 XT aktualisieren, ohne neue Hardwarekomponenten kaufen zu müssen, was einen maximalen Wert und eine Optimierung der gesamten Prozessleistung ermöglicht. KLA ARCHER 10XT ist die ideale Lösung für eine Vielzahl von Herstellern, von Sub-Wellenlängen-Geräten wie Smartphones bis hin zu Advanced-Node-Prozessknoten für führende Halbleiterbauelemente. Das Modell bietet hervorragende Fehlererkennung, Kosteneinsparungen und zuverlässige Fertigungsleistung und setzt einen neuen Standard für Wafer- und Maskeninspektionen.
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