Gebraucht KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9351476 zu verkaufen
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ID: 9351476
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Overlay inspection system, 12"
2008 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT + ist eine hochentwickelte, integrierte Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine breite Palette fortschrittlicher bildgebender Funktionen bietet. Das System bietet schnelle, genaue Vor-Ort-Bildgebung von Wafern und optischen Retikeln und wurde entwickelt, um die Effizienz zu maximieren und die Inspektionszeit zu reduzieren. KLA Archer 10 XT + umfasst hochauflösende Optik, eine vollautomatische computergesteuerte Ausrichteinheit, eine motorisierte X-Y-Stufe und eine automatisierte Fokus-Scan-Fähigkeit. Diese Maschine ist in der Lage, ein Sichtfeld von 500 mm x 550 mm mit einer Auflösung von bis zu 0,4 μ m pro Pixel abzubilden. Zu den integrierten Optikmodulen gehören LED-Beleuchtung, einstellbare Blitzstärke und variable Laserintensität für eine optimale Beleuchtung von Wafern und Maskenmustern. Das Tool ist zudem mit einem einzigartigen „Perspective Compensation“ -Werkzeug ausgestattet, mit dem das Asset Muster bis auf 0,35 μ m visualisieren kann. TENCOR Archer 10 XT + bietet High-Speed-Bildgebung mit Durchsatzraten bis zu zwei Mal schneller als jedes andere integrierte Modell auf dem Markt. Diese Geschwindigkeit sorgt für eine schnelle Erkennung und Diagnose von Defekten, die die Prozessausbeute und Qualitätssicherung verbessern. Intern verwendet das Gerät fortschrittliche Software-Algorithmen, die speziell für die Anwendung entwickelt wurden, um die Bilder zu verarbeiten, die direkt aus seiner hochpräzisen Bildgebungsoptik stammen. Diese Algorithmen komprimieren die Daten, um das ursprüngliche Signal-Rausch-Verhältnis beizubehalten und gleichzeitig Fehler im Feldbild zu erkennen und zu charakterisieren. Die Software bietet dem Bediener auch die Flexibilität, die Systemeinrichtung anzupassen und hochauflösende Bilder direkt vom Bildprozessor aus anzuzeigen. Die allgemeine Flexibilität und Modulierung der Einheit sorgt dafür, dass sie effizient auf verschiedene Masken- und Waferanwendungen zugeschnitten werden kann. Je nach Anwendung kann ein breites Spektrum an Konfigurationen auf die Maschine angewendet werden. Beispielsweise können dem Werkzeug asphärische und dioptrische Optiken zur Verbesserung der Bildqualität hinzugefügt und bildgebende Systeme mit mehreren Stufen einfach konfiguriert werden. Kurz gesagt, Archer 10 XT + ist eine fortschrittliche integrierte Masken- und Wafer-Inspektion, die schnellen Durchsatz, hohe Auflösung, anpassbare Konfigurationen und Software-Algorithmen bietet, die speziell für Masken- und Wafer-Imaging entwickelt wurden. Seine fortschrittlichen bildgebenden Funktionen verbessern erheblich die Fähigkeit, Fehler zu erkennen, was die Prozessausbeute und die Qualitätssicherung erheblich verbessert.
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