Gebraucht KLA / TENCOR Archer 100 AIM+ #293606200 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293606200
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Overlay measurement system, 12"
EFEM
Does not include HDD
2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer 100 AIM + ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es kombiniert erweiterte Bildanalyse- und Messtechnik-Fähigkeiten mit einer optimierten Messtechnik-Plattform und ACIS Automated Inspector System (AIS). Es wurde entwickelt, um hochpräzise lichtempfindliche Gerätemasken und starre Fotomaskenbilder mit bis zu 100 Megapixeln Auflösung zu inspizieren. KLA Archer 100 AIM + ist für einen schnellen Durchsatz optimiert und kann bis zu 10 Wafer pro Stunde inspizieren. Die erweiterten Bildanalysefähigkeiten von TENCOR Archer 100 AIM + ermöglichen die Inspektion mehrerer bildgebender Ansätze. Es kann dreidimensionale (3D), zweidimensionale (2D) und Sub-Mikron-Merkmalsprüfung aufnehmen. Darüber hinaus verfügt Archer 100 AIM + über eine „Smart Scan“ -Funktion, die es dem Gerät ermöglicht, sich auf interessante Bereiche wie einen Defekt einzulassen, um die Datenerfassung und Verarbeitungszeiten zu minimieren. Die AIS-Funktion von KLA/TENCOR Archer 100 AIM + ist in der Lage, eine Vielzahl von Fotomasken Formen und Größen zu inspizieren. Es wurde entwickelt, um unter anderem Partikelverunreinigungen, Defekte, Kratzer und Ätzungen zu erkennen. Darüber hinaus kann es verschiedene Defekte am Wafer identifizieren, ohne die Leistung des Wafers zu beeinträchtigen. KLA Archer 100 AIM + beinhaltet auch eine fortschrittliche Messtechnik-Plattform. Diese Plattform gibt Benutzern die Möglichkeit, die Form und Größe kritischer Photomaskenstrukturen für die Prozessüberwachung und -steuerung zu messen. Die Messtechnik-Plattform ist flexibel und kann auf die individuellen Anforderungen des Kunden zugeschnitten werden. Es verfügt auch über automatisierte Datenerfassungs- und Datenanalysefunktionen. TENCOR Archer 100 AIM + ist auch unter Berücksichtigung der Arbeitnehmersicherheit konzipiert. Eine geschlossene Schleife Human Machine Interface (HMI) ist enthalten, die die Steuerung aller Funktionen in der Maschine ermöglicht. Das HMI ist mit mehreren Blickwinkeln und Layouts ausgelegt, um den ergonomischen Bedürfnissen der Bediener gerecht zu werden. Zusätzlich sind eine Reihe von Warnungen vorhanden, um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten. Insgesamt ist Archer 100 AIM + ein fortschrittliches Masken- und Waferinspektionswerkzeug, das für einen schnellen Durchsatz mit erweiterten Bildanalyse- und Messtechnikfunktionen optimiert ist. Sein ergonomisches Design entspricht der Sicherheit des Personals und sorgt für Genauigkeit bei der Datenerfassung und -analyse. KLA/TENCOR Archer 100 AIM + ist eine ideale Wahl für die Inspektion von hochpräzisen lichtempfindlichen Gerätemasken und starren Fotomaskenbildern.
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